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Inprentus衍射光柵EUV

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產(chǎn)品型號EUV

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更新時間：2024-04-23 16:36:41瀏覽次數(shù)：162次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹Inprentus可為EUV應(yīng)用提供定制的主光柵，在這些應(yīng)用中，優(yōu)化光學(xué)效率、儀器緊湊性和性能是下一代處理實驗室的任務(wù)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

Inprentus可為EUV應(yīng)用提供定制的主光柵，在這些應(yīng)用中，優(yōu)化光學(xué)效率、儀器緊湊性和性能是下一代處理實驗室的任務(wù)。Inprentus 能夠利用高可變線間距 (VLS) 制造具有強聚焦能力的衍射光柵。這使得光斑尺寸更小，工作波長的光線更明亮。衍射光柵可在設(shè)計波長內(nèi)外使用，具有多種尺寸和規(guī)格，可實現(xiàn)緊湊型儀器設(shè)計和升級。Inprentus 還與客戶密切合作，在光柵母版中提供定制的熾熱角，以便在現(xiàn)有儀器或下一代儀器升級中實現(xiàn)直接替換。

性能特點

現(xiàn)代化的衍射光柵機械固定方法

效率高和聚焦效果好

利用高可變線間距（VLS）制造具有強聚焦能力的衍射光柵

優(yōu)化減小光斑尺寸

可在設(shè)計波長內(nèi)外使用

實現(xiàn)緊湊型儀器設(shè)計和升級

提供定制的熾熱角

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：美國

熾熱角：0.1° 到 80° 不等

VLS - 可變線間距 (VLS)