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產(chǎn)品型號CS200(A)數(shù)字式

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更新時間：2022-08-02 13:45:54瀏覽次數(shù)：1959次

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CS200(A)數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER)

技術(shù)參數(shù)：

型號	CS200(A)
流量規(guī)格(N²)	( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM
準(zhǔn)確度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時間	≤ 1sec
閥類型	Normally Closed or Normally Open
工作壓差范圍	(0.05～0.35) Mpa(≤10slm) (0.1～0.35) Mpa(20slm，30 slm) (0.2～0.45) Mpa(50 slm) ＜0.02MPa
溫度系數(shù)	Zero: ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃
zui大工作壓力	3MPa
零漂	＜0.6%F.S. per year without autozero
漏率	1×10-9 atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)
密封材料	Viton;Neoprene
表面粗糙度	25Ra
工作環(huán)境溫度	(5～45)℃
輸入信號	Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC or (4～20)mA
輸出信號	Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC and (4～20)mA
電源	±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA)
電氣連接	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	VCR1/4” M；SwagelokΦ3；SwagelokΦ6； SwagelokΦ10； Swagelok1/4”；W-seal；C-seal
重量	1kg