質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-7B型 質(zhì)量流量控制器
技術(shù)參數(shù):
滿(mǎn)量程流量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM |
控制范圍 | 2~100%F.S. |
閥類(lèi)型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S. |
線(xiàn)性 | ±0.5~1.5%F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤7sec |
工作溫度范圍 | 5~45℃ |
工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
耐壓 | 3MPa |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡膠(或氯丁橡膠) |
電插頭形式 | DB15 pin(Female) |
接頭選擇 | VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3 |
重量 | 1.1Kg |
主要特點(diǎn):
★高性能價(jià)格比、普通型產(chǎn)品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★7A型的更新?lián)Q代型
★管狀分流,使用壽命長(zhǎng)