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D07-7C 質(zhì)量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER) 返回列表頁

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產(chǎn)品型號D07-7C

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更新時間：2022-08-02 13:45:54瀏覽次數(shù)：1151次

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產(chǎn)品簡介

質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

詳情介紹

D07-7C 質(zhì)量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER)

技術(shù)參數(shù)：

滿量程流量范圍(N2)	5SCCM～10SLM
控制范圍	2～100％F.S.
閥類型(及閥初始狀態(tài))	電磁調(diào)節(jié)閥(常閉)
準(zhǔn)確度	±1.5％F.S.
線性	±0.5～1.5％F.S.
重復(fù)精度	±0.2％F.S.
響應(yīng)時間	≤7sec
工作溫度范圍	5～45℃
工作壓差	0.1～0.5MPa
耐壓	3MPa
漏氣率	1×10-8atm.cc/sec He
密封材料	氟橡膠、氯丁橡膠
電插頭形式	DB15 pin(Female)
接頭選擇	VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3
抗電磁干擾	CE
重量	1.1Kg