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非觸式微區(qū)形貌測試系統(tǒng)OSP370 Non-Contact Surface Profiling

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產(chǎn)品簡介

使用非接觸式激光位移傳感器，OSP370模塊可以非?？焖倬_地對(duì)非觸表面進(jìn)行測量。在不接觸樣品表面的情況下，它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。

非觸式微區(qū)形貌測試系統(tǒng)OSP370 Non-Contact Surface Profiling

空氣質(zhì)量檢測儀
光譜/色譜/分光光度計(jì)
使用非接觸式激光位移傳感器，OSP370模塊可以非常快速精確地對(duì)非觸表面進(jìn)行測量。在不接觸樣品表面的情況下，它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。

測量表面的粗糙度，形貌特征，使用獲得的數(shù)據(jù)來改變?cè)谄渌鸖KP, SVET, LEIS掃描技術(shù)中探針高度，使探針可以掃描不平的表面，同時(shí)保持探針和樣品表面間的距離*。
需和M370三維平臺(tái)及控制器結(jié)合使用

Measurement Range	10mm
Reference Distance	30mm
Maximum Vertical Resolution （static）	100nm
Spot Size	30µm at focus
Scan Speed	2mm/sec
Multiple Readings Averaged	Yes
Correct Positioning	Red light/green light
Scan Range （x, y, z）	70mm
Light Source	650nm class 2 semiconductor laser max. 0.95mW

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