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行業(yè)產(chǎn)品

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湖南頂立科技有限公司


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碳化硅CVI/CVD沉積爐

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：頂立查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-03-24 11:42:47瀏覽次數(shù)：498次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：106條

所在地區(qū)：湖南長沙市

聯(lián)系人：頂立 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

碳化硅CVI/CVD沉積爐主要用于碳纖維、碳化硅纖維及其編織預制件等的碳化硅界面層制備。

詳細介紹

碳化硅CVI/CVD沉積爐技術特征

電阻爐可采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好；

采用智能壓力調控，壓力波動??；

全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

多級高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，易清理；

碳化硅CVI/CVD沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)/型號CVI-0305-SiCCVI-0608-SiCCVI-0612-SiCCVI-0812-SiCCVI-0817-SiCCVI-1120-SiCCVI-1320-SiCCVI-1520-SiC
工作區(qū)尺寸 φ×H（mm）300×500600×800600×1200800×1200800×17001100×20001300×20001500×2000
溫度（℃）15001500150015001500150015001500
溫度均勻性（℃）±5±7.5/±10±7.5/±10±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度（Pa）1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率（Pa/h）0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術方案和協(xié)議為準。

碳化硅CVI/CVD沉積爐配置選擇

結構形式：立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質：內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質：石墨/CFC

熱電偶：C/S分度號

關鍵詞：加熱器 熱電偶

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