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熱解碳化硼生長爐

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更新時間：2022-03-24 11:57:02瀏覽次數(shù)：214次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：106條

所在地區(qū)：湖南長沙市

聯(lián)系人：頂立（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

熱解碳化硼生長爐主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，如OLED坩堝、PBN板材/環(huán)舟、VGF坩堝、LEC坩堝等的制備

詳細(xì)介紹

熱解碳化硼生長爐技術(shù)特征

采用*的控制技術(shù)，能精密控制BCl₃/NH₃的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動?。?/span>

全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；

可選配新設(shè)計的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時間長，維修率低；

適于工藝氣氛：真空/H₂/N₂/Ar/BCl₃/NH₃。

熱解碳化硼生長爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)/型號	VCVD-0305-BN	VCVD-0608-BN	VCVD-0612-BN	VCVD-0812-BN	VCVD-1120-BN	VCVD-1218-BN	VCVD-1315-BN	VCVD-1520-BN
工作區(qū)尺寸 φ×H（mm）	300×500	600×800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1300×1500	1500×2000
溫度（℃）	2000	2000	2000	2000	2000	2000	2000	2000
溫度均勻性（℃）	±5	±7.5/±10	±7.5/±10	±7.5/±10	±10/±15	±10/±15	±10/±15	±15/±20
極限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
壓升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加熱方式	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

熱解碳化硼生長爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC

熱電偶：C分度號

紅外儀：單比色/雙比色

真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組

關(guān)鍵詞：生長爐加熱器熱電偶真空泵耐腐蝕泵

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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熱解碳化硼生長爐

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