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湖南頂立科技有限公司


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碳化硅外延生長爐

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具體成交價以合同協議為準

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更新時間：2022-03-24 12:01:13瀏覽次數：505次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：106條

所在地區(qū)：湖南長沙市

聯系人：頂立 （經理）

產品簡介

碳化硅外延生長爐主要用于石墨盤或碳化盤的碳化硅外延生長制備

詳細介紹

碳化硅外延生長爐技術特征

采用*的控制技術，能精密控制MTS/MS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動小；

多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

多級高效尾氣處理系統，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物，環(huán)境友好；

適于工藝氣氛：真空/H2/N2/Ar/MTS/MS。

碳化硅外延生長爐產品規(guī)格

參數/型號HCVD-101015-SiCHCVD-152023-SiCVCVD-0608-SiCVCVD-0612-SiCVCVD-0812-SiCVCVD-1120-SiCVCVD-1218-SiCVCVD-1520-SiC
工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm）1000×1000×15001500×2000×2300600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
溫度（℃）15001500150015001500150015001500
溫度均勻性（℃）±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度（Pa）1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率（Pa/h）0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數可根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據，具體以技術方案和協議為準。

碳化硅外延生長爐配置選擇

結構形式：臥式-單開門/門；立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質：內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質：石墨/CFC

熱電偶：C/S分度號

真空泵：機械泵組/耐腐蝕泵組


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