EDI超純水設(shè)備是專用于生產(chǎn)超純水的技術(shù)設(shè)備，采用了“雙級反滲透+EDI"的工藝設(shè)計(jì)，出水電阻率可達(dá)16 MΩ*cm(25℃)。雙級反滲透系統(tǒng)能夠?qū)⑺泻械碾s質(zhì)有效分離，這個(gè)處理過程主要借助反滲透膜孔徑小、孔隙率高的優(yōu)勢，使微生物、金屬離子、礦物質(zhì)等成分被膜截留，與超純水分離。

　　反滲透膜處理不需要高溫，工藝流程也比較短，操作十分簡單。它的運(yùn)行以壓力為驅(qū)動力，并且自動化較強(qiáng)，無須人工力量干預(yù)。EDI技術(shù)是為超純水深度脫鹽的技術(shù)，該模塊處理無污染物析出，也不會產(chǎn)生酸堿廢液。EDI進(jìn)水為二級反滲透產(chǎn)水，水質(zhì)較好，脫鹽后濃水水質(zhì)仍舊能夠優(yōu)于一級反滲透產(chǎn)水，可回流至一級反滲透產(chǎn)水箱。

　　經(jīng)過兩次反滲透系統(tǒng)處理和EDI脫鹽處理之后產(chǎn)生的超純水，基本不含任何金屬離子、有機(jī)物、細(xì)菌、微生物等雜質(zhì)，僅保留氫原子和氧原子兩種成分。這種高純度的水一般多在工業(yè)生產(chǎn)中使用，比如半導(dǎo)體、制藥、航天零部件生產(chǎn)等，不但能提高產(chǎn)品質(zhì)量，在清洗保養(yǎng)中也不會造成產(chǎn)品污染，使用價(jià)值很高。

　　列舉幾個(gè)可應(yīng)用超純水參與生產(chǎn)的領(lǐng)域：

　　蓄電池電解液：利用超純水配制蓄電池電解液，可以避免水中含有的金屬離子對蓄電池導(dǎo)電性造成干擾;

　　微生物培養(yǎng)營養(yǎng)液：超純水水質(zhì)好、純度高，配制營養(yǎng)液可以避免其含有雜質(zhì)對微生物培養(yǎng)結(jié)果造成影響，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性;

　　硅晶圓清洗：硅晶圓是半導(dǎo)體生產(chǎn)中的基本原料，其清潔度與產(chǎn)品質(zhì)量緊密相連。采用超純水清洗硅晶圓，基本不影響硅晶圓清潔質(zhì)量，安全可靠。