在半導(dǎo)體生產(chǎn)中有一個(gè)很重要的介質(zhì)就是“水"，想要獲得符合生產(chǎn)需求的水質(zhì)，需要依靠半導(dǎo)體超純水設(shè)備。半導(dǎo)體超純水設(shè)備在制取超純水的過程中有一個(gè)很重要的步驟就是通過反滲透膜去除水中的雜質(zhì)，長期使用后反滲透膜也會因?yàn)橐恍┰虮欢氯@就是我們常見的半導(dǎo)體超純水設(shè)備堵塞問題。下面我們就來看下這半導(dǎo)體超純水設(shè)備的堵塞問題形成的原因。

　　一、化學(xué)結(jié)垢問題：在半導(dǎo)體超純水設(shè)備的原水中含有大量的無機(jī)物離子，原水沒經(jīng)過處理之前，一般來說，離子的濃度是不會達(dá)到飽和度，也就不會發(fā)生生成水垢的問題。但是，當(dāng)原水經(jīng)過反滲透系統(tǒng)之后，源水按反滲透系統(tǒng)75%的回收率計(jì)算的話，濃水已經(jīng)經(jīng)過了4倍的濃縮，這時(shí)候水質(zhì)的離子濃度已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)到其飽和度，這時(shí)候就會結(jié)晶析出，生成水垢，這就是半導(dǎo)體超純水設(shè)備堵塞問題中的化學(xué)結(jié)垢問題。

　　二、生物污堵問題：我們都知道水中除了含有大量無機(jī)物離子還有大量的微生物，特別是地表水，其微生物含量非常高。如果我們使用天然水作為半導(dǎo)體超純水設(shè)備的原水時(shí)，會有大量的微生物進(jìn)入到反滲透系統(tǒng)中，而且，我們得使用環(huán)境一般來說是20攝氏度到40攝氏度，這一溫度下非常適合微生物的生長，微生物在這個(gè)環(huán)境下會快速繁殖生長，使其含量達(dá)到一個(gè)很高的水平。隨著微生物含量的增加就會變成我們所受的生物污堵問題。對于生物污堵問題，我們要在預(yù)處理環(huán)節(jié)對原水進(jìn)行一定處理，使進(jìn)入半導(dǎo)體超純水設(shè)備的微生物含量盡量減少，同時(shí)，我們也要定期對設(shè)備進(jìn)行殺毒滅菌處理。

　　三、懸浮物、膠體污堵：這個(gè)我們就很好理解了，大家都知道的，水中有很多各種各樣的懸浮物質(zhì)、溶解物質(zhì)和膠體物質(zhì)。在反滲透膜對水和溶質(zhì)進(jìn)行分離的時(shí)候，如果反滲透原水中的懸浮物和膠體物質(zhì)在膜表面出現(xiàn)堆積現(xiàn)象就會使反滲透膜受到污染，形成懸浮物、膠體污堵。對于這種情況，我們可以根據(jù)原水水質(zhì)來選擇預(yù)處理裝置，對原水進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚?，減少進(jìn)入反滲透系統(tǒng)懸浮物膠體等。

　　半導(dǎo)體超純水設(shè)備在日常運(yùn)行時(shí)，由于操作不當(dāng)，還會出現(xiàn)其他各種各樣的問題，如果不及時(shí)解決，就會影響設(shè)備的出水水質(zhì)以及設(shè)備的使用壽命，因此半導(dǎo)體超純水設(shè)備日常維護(hù)保養(yǎng)非常重要。