我公司專業(yè)代理經(jīng)銷奧林巴斯MX63/MX63L 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡，為客戶提供專業(yè)的售前產(chǎn)品咨詢和售后安裝服務(wù)。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L半導(dǎo)體檢測顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大樣品的檢測、*的人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多優(yōu)點(diǎn)將會有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
奧林巴斯MX63/MX63L 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡
現(xiàn)今智能手機(jī)產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展帶動了包括半導(dǎo)體、平板顯示（FPD）、印制電路板（PCB）等整個電子制造業(yè)的飛速進(jìn)步。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L半導(dǎo)體檢測顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大樣品的檢測、*的人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多優(yōu)點(diǎn)將會有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
新推出的MX63/MX63L半導(dǎo)體檢測顯微鏡具備有如下的特點(diǎn)：
從不可見到可見：MIX觀察與采集
新MX63/MX63L是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品，由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中，MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷
長壽命高強(qiáng)度白色LED照明：始終*的色溫
新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強(qiáng)度白光LED光源，兼顧低功耗和長壽命的優(yōu)點(diǎn)，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和精確的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。
功能性：適合所有晶園尺寸
新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于晶圓直徑200mm，MX63L可用于晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī)，實(shí)現(xiàn)可靠、安全、高效的對晶圓正面和背面進(jìn)行檢測
模塊化：全面可定制
新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)讓檢測者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi)，鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過防靜電處理。
人性化：滿足人體工學(xué)的設(shè)計(jì)
新MX63/MX63L顯微鏡采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，可以快速設(shè)置調(diào)整和簡易控制。更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制位于顯微鏡前面較低的位置，因此用戶在使用過程中可始終保持透過目鏡觀察而無須松開對焦旋鈕。電動物鏡轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)迅速，在縮短檢測間隔時間的同時還可讓操作者的手始終在晶圓下方，降低可能存在的污染風(fēng)險。
憑借這些強(qiáng)大的觀察功能和簡單的操作特性，MX63/MX63L工業(yè)檢測顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)快速高效的實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品檢測。
| MX63 | MX63L |
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)) |
顯微鏡鏡架 | 反射光照明
(FN 26.5) | 白光LED (帶有光強(qiáng)管理器) 12伏100瓦鹵素?zé)? 100瓦汞燈 明場/暗場/分光鏡組，手動切換。(分光鏡為選配件。)
通過手動操作更換3位置分光鏡編碼
內(nèi)置電動孔徑光闌 (針對每個物鏡預(yù)設(shè), 暗場觀察時自動全開) 觀察模式: 明場、暗場、微分干涉 (DIC)*1, 簡單偏振*1, 熒
光*1, 紅外*1 和MIX觀察 (4個定向暗場)
*1 選配分光鏡, 2 需要MIX觀察配置 |
透射光照明
(FN 26.5) | 需要透射光照明單元MX-TILLA或MX-TILLB。
帶有聚光器(NA 0.5) 的透射光照明單元和孔徑光闌:MX-TILLA
帶有聚光器(NA 0.6) 的透射光照明單元和孔徑光闌和視場光闌:MX-TILLB
光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素?zé)? 導(dǎo)光:LG-SF
觀察模式: 明場, 簡單偏振 |
聚焦 | 行程：32毫米
每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100微米
小分度:1微米
用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié) |
大負(fù)載重量(包括載物臺
和支架) | 8 kg | 15 kg |
觀察筒 | 寬視場
(FN 22) | 正像三目觀察筒:U-ETR4
正像傾斜式三目觀察筒:U-TTR-2
倒像三目觀察筒:U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察)
倒像雙目觀察筒:U-BI30-2
倒像傾斜式雙目觀察筒：U-TBI30 |
超寬視場
(FN 26.5) | 正像傾斜式三目觀察筒：MX-SWETTR (光程切換 (目鏡):0 (相機(jī)) 或0:) 正像傾斜式三目觀察筒:U-SWETTR
(光程切換 (目鏡) :0 (相機(jī)) 或 20% :80%) 倒像三目觀察筒:U-SWTR-3 |
電動物鏡轉(zhuǎn)盤 | 明場
六孔電動轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D6REMC
五孔可調(diào)中心電動轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-P5REMC
明場和暗場
六孔電動轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D6BDREMC
五孔電動轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D5BDREMC
五孔可調(diào)中心電動轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-P5BDREMC |
載物臺 (X × Y) | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄:MX-SIC8R
行程:210 x 210毫米
透射光照明區(qū)域:189 x 189毫米 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸
右手柄:
MX-SIC6R2
行程:158 x 158毫米 (僅適用于反射光) | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC1412R2
行程：356 x 305毫米
透射光照明區(qū)域：356 x 284毫米 |
重量 | 約50公斤 (顯微鏡架37.5公斤) | 約64公斤 (顯微鏡架44公斤) |
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