產(chǎn)品特征：

當氣壓在10mbar以上時，可獨立測量各種氣體，不必做校正（包括混合氣體）

對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復性

信號響應時間較短（≤30ms)

原理介紹：

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，數(shù)字式真空計電力資質(zhì)四級設備可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。

利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

波爾登規(guī)(Bourdon)

細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象，數(shù)字式真空計電力資質(zhì)四級設備會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。

這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。

技術參數(shù)：

量程范圍：

在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等。

在10~10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。

在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。