XPR3L 氣體分析儀用于監(jiān)控過程氣體和基本真空條件的工具是 Transpector ® XPR3L 氣體分析系統(tǒng)提供的經(jīng)濟高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過程監(jiān)控解決方案可以實時提供有關(guān)過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質(zhì)和泄漏情況的信息。此信息可用于*大限度提高過程良率和產(chǎn)品質(zhì)量。XPR3L 提供的本底監(jiān)控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染，提高預防性維護程序的有效性和效率。

XPR3L 氣體分析儀功能

• 通過運行高達 10mTorr（可選 20mTorr）的 UHV，提供經(jīng)濟實惠的雙用功能、過程監(jiān)控和基本真空保證
• 經(jīng)濟高效的過程監(jiān)控器，可用于可擴展的生產(chǎn)設(shè)計
• 通過持續(xù)自動監(jiān)控過程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質(zhì)，提高過程良率，減少碎片，提高產(chǎn)品質(zhì)量
• 通過以高靈敏度和*小可檢分壓強驗證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染，加快 PM 恢復，提高生產(chǎn)力
• 可在 1 - 100 amu 質(zhì)量范圍內(nèi)運行，能夠檢測各種材料、污染或副產(chǎn)品，確保您的投資安全，降低投資風險
• 與 FabGuard 監(jiān)控和分析系統(tǒng)相兼容，提供可靠、*的診斷和過程控制

典型應(yīng)用

• 太陽能/光伏設(shè)備制造
• LCD 制造
• PVD 過程監(jiān)控
• 監(jiān)控過程氣體壓力和氣體比率
• 暴露和鑒別污染
• 檢測和查找泄漏（空氣、氦氣、水及其他蒸汽）
• PM 恢復/故障排除和驗證基本真空