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500oC真空熱壓機VHP-5T-4

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更新時間：2023-02-14 12:18:46瀏覽次數(shù)：212次

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

500oC真空熱壓機VHP-5T-4

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：500ºC真空熱壓機VHP-5T-4是一款電動真空平板式真空熱壓機，專門用于晶片的焊接和薄膜轉(zhuǎn)移，其可處理樣品尺寸為100mm×100mm，工作溫度為500℃，在此溫度下可對樣品實加的壓力為6T（七月份更改為壓力40T）。

500ºC真空熱壓機VHP-5T-4操作視頻

產(chǎn)品型號	500ºC真空熱壓機VHP-5T-4
主要特點	1、加熱平臺中間嵌有1000W的加熱管，可達到快速加熱的效果；加熱平臺頂端設(shè)有水冷管（當工作溫度高于200 ℃時請注入冷卻水（>15L/min）），以達到快速冷卻的效果。 2、采用兩個精密的溫控器獨立控制兩塊加熱平臺，且可設(shè)置30段升降溫程序，采用PID方式進行溫度調(diào)節(jié)，并帶有過熱和斷偶保護功能。 3、使用控溫軟件和PC接口可將溫度程序和溫度曲線導入計算機。 4、數(shù)字壓力顯示器安裝在真空腔體外，可設(shè)置其壓力，當壓力達到設(shè)置值時電機將自動停止。 5、液壓裝置和加熱臺都置于真空腔體內(nèi)，且腔體采用304不銹鋼制作，并焊有加強筋（防止真空狀態(tài)下腔體變形）。 6、真空腔體前端設(shè)有觀察窗。 7、一個高靈敏度的真空計安裝于真空腔體上，測量內(nèi)部的真空度。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：2500W 3、加熱平臺：采用高溫合金鋼制成，可承受溫度500℃，尺寸135mm×135mm，兩平臺間可移動距離15mm 4、液壓泵：40T的電動液壓機與真空腔體相連接，壓力控制精度為±0.01MPa（0.1kg/cm²），自動壓力控制并帶有數(shù)顯 5、工作溫度：500℃ 6、升溫速率：<10℃/min 7、控溫精度：±1℃ 8、真空度：10E-3torr 9、內(nèi)部腔體尺寸：372mm×420mm×480mm 10、觀察窗口：Ø150mm
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：600mm×500mm×400mm