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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：金查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-02-15 08:01:53瀏覽次數(shù)：289次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：980條

所在地區(qū)：遼寧沈陽市

聯(lián)系人：金 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時可以實(shí)時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

 

產(chǎn)品型號

GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）

技術(shù)參數(shù)

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道
 

質(zhì)子流量控制器

工作溫度：5~45ºC  
壓力:3x106 Pa  
精度: ±1.5% FS  
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度：5~45 ºC
壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 ºC
壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 ºC
壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功  率

23W

PLC觸摸屏

各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上

RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

機(jī)械壓力表

有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針  閥

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管

外部通氣管道為1/4”聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥

Φ1/4” 不銹鋼管


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