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PCE-6小型等離子清洗機(jī)

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PCE-6小型等離子清洗機(jī)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。PCE-6小型等離子清洗機(jī)體積小，占用的空間少，可有效節(jié)約實(shí)驗(yàn)室空間。PCE-6小型等離子清洗機(jī)配有一個(gè)雙旋真空泵，可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空，同時(shí)通入氬氣等氣體，適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。

產(chǎn)品名稱(chēng)	PCE-6小型等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)	PCE-6
主要特點(diǎn)	1、通過(guò)控制面板的按鍵及開(kāi)關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開(kāi)閉、清洗時(shí)間。 2、時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。 3、設(shè)有一個(gè)三通閥，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體，進(jìn)氣接口為6mm卡套接口。 4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：AC220V 50/60Hz 2、輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W 3、真空泵功率：<500W 4、總功率：<600W 5、射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié) 6、等離子腔體：高純石英腔體Ø160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有Ø45mm的觀察窗 7、真空泵：240L/min，直連式雙旋真空泵 8、極限真空度：50mtorr 9、通入氣體：可通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N₂、Ar、H₂、O₂、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定）
清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：400mm×300mm×300mm，重量：10.2kg
可選配件	1、2"-6"石英舟（盛放基片） 2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)