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詳細介紹
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI簡介
Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數(shù)據(jù)存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI技術參數(shù)
類型： CCI 干涉（相干相關干涉）
分辨率： 0.1 A
測量點數(shù)： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI主要特點
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI技術參數(shù)
類型： CCI 干涉（相干相關干涉）
分辨率： 0.1 A
測量點數(shù)： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI主要特點
- 相干相關算法
- 0.01nm分辨率
- 10-20秒測量時間
- RMS重復性：0.03A
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