新一代的高溫納米壓痕測(cè)試儀

• 環(huán)境條件下熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個(gè)溫度范圍內(nèi)熱漂移 (< 3 nm/min)。
• 載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：兩套獨(dú)立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結(jié)合，
• 可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。
• 高真空系統(tǒng)具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統(tǒng)，允許在測(cè)量期間關(guān)閉初級(jí)泵，使振動(dòng)降至。
• 的加熱控制系統(tǒng)（3 項(xiàng)待批），采用3 個(gè)紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進(jìn)行加熱，
• 以及 4 個(gè)熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內(nèi)。
• 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)