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TESCAN掃描電鏡S8000G FIB-SEM

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更新時(shí)間:2024-04-07 13:42:57瀏覽次數(shù):78

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

TESCAN掃描電鏡S8000G FIB-SEM掃描電鏡的個(gè)新成員,是一款超高分辨雙束FIB-SEM系統(tǒng),它可以提供的圖像質(zhì)量,具有強(qiáng)大的擴(kuò)展分析能力,并能以的精度、效率完成復(fù)雜的納米加工和操作,可滿足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和學(xué)術(shù)界研究的所有需求.

詳細(xì)介紹

S8000G FIB-SEM的優(yōu)點(diǎn):
新一代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術(shù),保證了復(fù)雜樣品的低電壓高分辨觀測(cè)能力
配置的靜電-電磁復(fù)合物鏡,物鏡無(wú)磁場(chǎng)外泄,實(shí)現(xiàn)磁性樣品高分辨成像及分析
配置4個(gè)新一代探測(cè)器,可實(shí)現(xiàn)9種圖像觀測(cè),對(duì)樣品信息的采集更加全面
配置大型樣品室,有超過(guò)20個(gè)擴(kuò)展接口,為原位觀測(cè)、分析創(chuàng)造了良好的工作環(huán)境
可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴(kuò)展分析附件,并實(shí)現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman聯(lián)用
新一代操作軟件和自動(dòng)功能,F(xiàn)IB鏡筒具有全自動(dòng)的離子鏡筒對(duì)中,極大簡(jiǎn)化了操作

新一代 Orage™ Ga FIB鏡筒,適用于各類具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)


TESCAN S8000配置了的BrightBeam™鏡筒,實(shí)現(xiàn)了無(wú)磁場(chǎng)超高分辨成像,可以的實(shí)現(xiàn)各種分析,

包括磁性樣品的分析。新型鏡筒中的電子光路設(shè)計(jì)增強(qiáng)了低能量電子成像分辨率,特別適合對(duì)電子束敏感樣品

和不導(dǎo)電樣品的分析。創(chuàng)新的Orage™ Ga FIB鏡筒配有的離子槍和離子光學(xué)鏡筒,使得TESCAN S8000G

成為了世界的樣品制備和納米圖形成型的儀器。


S8000G束流可達(dá)100nA,具有超快速的加工能力,新穎的SmartMill高速切割功能,使得加工效率提升一倍。
S8000G離子能量可達(dá)500eV,擁有更優(yōu)秀的低壓樣品制備能力,可以快速制備無(wú)損超薄TEM樣品。
可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴(kuò)展分析附件,并實(shí)現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman一體化。




新一代OptiGIS™氣體注入系統(tǒng)

S8000可配置的多種探測(cè)器,包括透鏡內(nèi)Axial detector 以及 Multidetector,可選擇不同角度和不同

能量來(lái)收集信號(hào),體現(xiàn)更多種類的信息,同時(shí)獲得更好的表面靈敏度和對(duì)比度。S8000G有兩種氣體注入

系統(tǒng)可供選擇,標(biāo)準(zhǔn)的5針-GIS和新一代OptiGIS單針-GIS,單針的OptiGIS支持通過(guò)更換氣罐來(lái)更換化

學(xué)氣體,避免了以往多針氣體注入系統(tǒng)樣品倉(cāng)內(nèi)占用空間大的問(wèn)題。


兩種氣體注入系統(tǒng)均可以選擇多種沉積氣體,其中W、Pt、C等用于導(dǎo)電材料沉積,SiOx用于絕緣材料沉積,

XeF2、H2O等用于增強(qiáng)刻蝕,或其它定制氣體。


新一代Essence操作軟件,更簡(jiǎn)單、高效的操作平臺(tái)

S8000可配置的多種探測(cè)器新操作軟件極大簡(jiǎn)化了用戶界面,能快速訪問(wèn)各主要功能,

減少了繁瑣的下單菜單操作,并優(yōu)化了操作流程向?qū)?,易于學(xué)習(xí),兼容多用戶需求,

可根據(jù)工作需要定制操作界面。


新穎的樣品艙內(nèi)3D空間位置和移動(dòng)軌跡模擬功能,可避免誤操作,造成碰撞。


樣品艙內(nèi)的3D空間位置和移動(dòng)軌跡模擬


集成多項(xiàng)創(chuàng)新性設(shè)計(jì),拓展新應(yīng)用領(lǐng)域的利器

S8000可配置的多種探測(cè)器S8000G是TESCAN新一代FIB-SEM的成員,集成了BrightBeam™ SEM鏡筒、

Orage™ GaFIB鏡筒、OptiGIS氣體注入系統(tǒng)等多項(xiàng)創(chuàng)新設(shè)計(jì),在高分辨能力、原位應(yīng)用擴(kuò)展能力和分析擴(kuò)展能力方面達(dá)到了業(yè)內(nèi)水平,

此外新一代操作流程和軟件也給使用者帶來(lái)更舒適、高效的體驗(yàn)。

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