主要特點
TriglavTM——新開發(fā)的配備TriglavTM物鏡及探測系統(tǒng)的高分辨掃描電子顯微鏡

• 的無交叉模式及超高分辨率物鏡的組合，以獲得良好的成像模式
• 可變的探測系統(tǒng)能同時獲得各種信號
• 超高納米分辨率：0.7nm@15keV
• 極限分辨率：1nm@1keV
• 角度選擇BSE探測器能在低束能下獲得的形貌及元素襯度
• 實時電子束追蹤技術(shù)TM能優(yōu)化電子束性能
• 傳統(tǒng)的TESCAN大視野光學(xué)器件™設(shè)計提供各種工作和顯示模式
• EquiPower™提供了優(yōu)秀的電子束穩(wěn)定性
• 新的肖特基場發(fā)射電子槍能使電子束流達到400nA以及實現(xiàn)電子束能量的快速改變
• 的探測技術(shù)可應(yīng)用于的失效分析過程中
• 易損生物樣品的成像
• 磁性樣品的成像
• 優(yōu)化的幾何鏡筒分布能夠獲得8’’晶圓分析手段（SEM探測，F(xiàn)IB微加工）
• 3D電子束技術(shù)的立體成像
• 友好的用戶界面，成熟的軟件模塊和自動化程序