詳細介紹
分析潛力
- XM樣品室配備有5軸馬達驅(qū)動樣品臺
- 多于12個接口,優(yōu)化的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)
- YAG閃爍器式探頭
- 可選各種探頭和配件
- 渦輪分子泵和機械泵同時工作,幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態(tài)
- 在可變真空模式下可觀測不導(dǎo)電的樣品(XMU型號)
- 可選樣品室減振方式
- 3維Metrology軟件提供了三維重構(gòu)與3維測量功能
VEGA3配置
XM型號適合觀測大樣品。
VEGA3 XMH
超大樣品室,高真空模式,適用于觀測大型導(dǎo)電材料。
VEGA3 XMU
可變真空式掃描電鏡,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品,不需要噴金。