環(huán)保在線
詳細(xì)介紹
分析潛力：
- LM大樣品室、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
- 樣品室有11個(gè)接口，適用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探頭
- YAG 閃爍體探頭
- 選配包括了各種探頭于可選的配件
- 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作，幾分鐘可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)
- 在可變真空模式下可觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品（LMU型號(hào)）
- 可選的樣品室減振方式
- 3維Metrology軟件提供了三圍重構(gòu)與3維測(cè)量功能
VEGA3配置
VEGA3 LMH
高真空式SEM，配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，適用于觀測(cè)小型導(dǎo)電樣品。
VEGA3 LMU
可變真空式SEM，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測(cè)非導(dǎo)電樣品，不需要噴金。
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