最重要的特性：

u 具有非凡分辨率的單極60度角物鏡；

u Field Free模式用于磁性樣品的觀察；

u 高亮度肖特基電子槍可得到高分辨率/高束流/低噪聲的圖像；

u 鏡筒中的In-Beam二次電子探測(cè)器用于小工作距離條件下二次電子的檢測(cè)；

u In-Beam背散射電子探測(cè)器用于小工作距離的背散射電子成像；

u 高通量大面積自動(dòng)化，例如自動(dòng)顆粒分布和分析；

u 計(jì)算機(jī)優(yōu)化、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)；

u 利于EDX、EBSD分析的理想幾何設(shè)計(jì)；

u 完善的軟件用于SEM控制，圖像采集、存檔、處理和分析；多用戶多語(yǔ)言操作界面；

u 網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程控制/診斷是TESCAN的標(biāo)準(zhǔn)配置；

u 的3維電子束技術(shù)用于獲得實(shí)時(shí)立體圖像。

MAIA3 配置
MAIA3 XMH
大樣品室高真空式電鏡，配備有可選的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，適合觀測(cè)導(dǎo)電的樣品。

MAIA3 XMU
可變真空式SEM，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。