日本電子熱場發(fā)射掃描電鏡JSM-7001F（Thermal Field Emission SEM）是能夠滿足與高分辨率和易用性同樣的分析應(yīng)用需求的理想平臺。JSM-7001F具有大型、5軸、全對中馬達驅(qū)動自動化樣品臺,還有單動作樣品更換氣鎖、它的小束口壓直徑，即使在大電流和低電壓時，也具有適用于EDS、WDS、EBSP和CL的理想結(jié)構(gòu)的擴充性。樣品室可處理直徑為200mm的樣品。
計算機接口是新的Windows® XP系統(tǒng)，操作簡單，具有快速簡單地切換操作模式的功能鍵。最多可同時查看包括混合信號的四幅實時圖像，單次掃描就可以記錄并馬上存儲全部的四幅圖像。
JSM-7001F掃描電子顯微鏡還支持與EDS、WDS、電子束光刻系統(tǒng)和圖像數(shù)據(jù)庫的整體化。標(biāo)準(zhǔn)的樣品臺自動化由計算機控制5軸：X、Y、Z、傾斜和對中自轉(zhuǎn)。

低真空操作
JSM-7001FLV場發(fā)射掃描電子顯微鏡具有高分辨率性能，可以在中至高電壓千伏（kV）和更高的束流下對非導(dǎo)電樣品進行成像。因此無需在樣品上鍍金屬膜或碳膜以供導(dǎo)電，即可施用EDS、背散射成像、EBSD等分析技術(shù)。這在以下情況中特別有用: 樣品不能修改時，尚需后續(xù)測試時，或尚需返回產(chǎn)品線時。

低真空模式規(guī)格
樣品室壓力：50 Pa
分辨率：3.0nm（30kV）(BEI)
槍室壓力：5 x 10-7 Pa或更小
采用的氣體：干燥氮氣