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行業(yè)產(chǎn)品

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上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司


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晶圓鍵合應(yīng)用于晶圓臨時(shí)性鍵合工藝

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參   考   價(jià): ￥ 100000

訂  貨  量: ≥1  臺

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：陳靜靜查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2020-06-15 14:48:15瀏覽次數(shù)：156次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：100條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：陳靜靜 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介
加工定制 否    

晶圓鍵合配有高精度機(jī)械手，可自動(dòng)撕除晶圓臨時(shí)鍵合所用到的膠膜
解鍵合機(jī)可自動(dòng)為晶圓貼覆切割膜
可選配嵌入式紫外線照射模塊
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

晶圓鍵合應(yīng)用于晶圓臨時(shí)性鍵合wafer debonding工藝

 

 

 

Wafer Debonding晶圓鍵合特點(diǎn)：

4”-8”/8”-12”晶圓適用，可應(yīng)對薄晶圓鍵合。

晶圓鍵合智能測繪料籃內(nèi)晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。

晶圓鍵合可對已鍵合晶圓進(jìn)行自動(dòng)校正

可定制真空熱壓/UV/激光等方式實(shí)現(xiàn)解鍵合（Wafer Debonding)

晶圓鍵合配有高精度機(jī)械手，可自動(dòng)撕除晶圓臨時(shí)鍵合所用到的膠膜

解鍵合機(jī)可自動(dòng)為晶圓貼覆切割膜

可選配嵌入式紫外線照射模塊

工控機(jī)+Windows系統(tǒng)

SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力

 

 

晶圓鍵合Wafer Debonding規(guī)格參數(shù)：

晶圓鍵合機(jī)          wafer debonding系列

晶圓尺寸          4”-8”/8”-12”

支持基板          玻璃

激光/UV/加熱器          可選

晶圓切割膜覆蓋          搭載

解鍵合機(jī)撕膜模塊 搭載

晶圓盒形式          兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料

其他                  SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力

 

 

Wafer Debonding晶圓鍵合相關(guān)產(chǎn)品：

衡鵬供應(yīng)

超薄晶圓支持系統(tǒng)/超薄晶圓臨時(shí)鍵合/wafer bonding/wafer debonding/wafer bonder/晶圓鍵合

關(guān)鍵詞：工控機(jī) 加熱器

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