Agilent VacIon Plus 200離子泵適合各種 XHV(*真空)和 UHV(超高真空)應(yīng)用。VacIon Plus 200 能夠在低壓下(10-8 mbar 范圍內(nèi))達到大抽氣速率的泵。該泵提供 Diode、Noble Diode 或 StarCell 泵元件和 8 英寸 ConFlat 入口法蘭。Diode 和 Noble Diode 配置占地面積小,可輕松完成安裝。磁場經(jīng)過優(yōu)化且具有出色的均勻性,并且引入“真空燒制”熱處理,使得 VacIon Plus 200 在同類泵中具有良好的真空性能。VacIon Plus 200 泵可采用*的安捷倫 4UHV 控制器進行操作,其能夠改變高壓以便在各種壓力范圍內(nèi)驅(qū)動離子泵至該電壓,實現(xiàn)大抽氣速率。
Agilent VacIon Plus 200離子泵特性:
1.低壓下(10-8mbar范圍內(nèi))達到大抽氣速率
2.具有良好的對氮氣和氬氣抽氣速率
3.通過“真空燒制”熱處理降低了除氣作用
4.全新Diode和NobleDiode元件設(shè)計(更小體積)
5.StarCell元件:對惰性氣體提供良好的性能和穩(wěn)定性
6.優(yōu)化的磁場分布提供了更高的抽氣速率
7.廣泛的配置可選,包括側(cè)口和不同高真壓穿通件
8.全新加熱器設(shè)計實現(xiàn)了高加熱效率和簡單的安裝運行
9.*可更換的泵元件
技術(shù)指標:
外形圖
抽氣速率vs壓力