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上海昊量光電設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2024-02-12 15:23:33瀏覽次數(shù)：134次
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超緊湊機(jī)光刻技術(shù)實(shí)際上是一種精密表面加工技術(shù)，它借助于一定波長(zhǎng)的激光光源以及選擇性的化學(xué)腐蝕和刻蝕技術(shù)把設(shè)計(jì)的微納圖案轉(zhuǎn)移到硅基板上
超緊湊機(jī)
光刻技術(shù)實(shí)際上是一種精密表面加工技術(shù)，它借助于一定波長(zhǎng)的激光光源以及選擇性的化學(xué)腐蝕和刻蝕技術(shù)把設(shè)計(jì)的微納圖案轉(zhuǎn)移到硅基板上。但是隨著集成電路功能和密度的提升傳統(tǒng)的光刻技術(shù)已經(jīng)難以滿足當(dāng)前對(duì)線寬越來(lái)越小的需求。但是打破衍射極限的大型光刻設(shè)備又極其昂貴。為了擺脫光學(xué)衍射極限和克服高成本的限制，一種操作簡(jiǎn)單，成本低廉的納米壓印技術(shù)產(chǎn)生了。納米壓印的技術(shù)核心是充分利用機(jī)械能將剛性模板上的圖案轉(zhuǎn)到抗蝕劑上，之后再借助溶脫、剝離、刻蝕等將圖案轉(zhuǎn)移到基板上。到目前為止壓印技術(shù)已經(jīng)發(fā)展出來(lái)多種類型，典型的包括熱塑壓印技術(shù)、紫外固化壓印、微接觸納米壓印、激光輔助納米壓印和滾軸式納米壓印技術(shù)等。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的納米壓印機(jī)AU-CUI為熱壓印和紫外固化壓印設(shè)備。
AU-CNI納米壓印機(jī)是一款桌面大小的納米壓印和熱壓成型的機(jī)器。它可以用于微米或納米結(jié)構(gòu)的壓印成型。AU-CNI不但可以進(jìn)行熱壓印還可以進(jìn)行UV壓印。
對(duì)于熱壓印首先設(shè)備通過(guò)施加壓力使模板與基板緊密接觸，加壓范圍可達(dá)到11bar，通常依據(jù)溫度控制壓印過(guò)程。溫度可達(dá)到200℃，由于采用原位實(shí)時(shí)測(cè)量溫度，因此控溫精度可達(dá)到1℃。
UV曝光采用4個(gè)365nm的LED光源，組合光的功率可達(dá)到11.6W，LED的溫度被實(shí)時(shí)檢測(cè)，擁有過(guò)熱保護(hù)功能，即使出現(xiàn)過(guò)熱的現(xiàn)象也可以確保曝光劑量正確。
此外設(shè)備擁有簡(jiǎn)潔的操作軟件。通過(guò)軟件可以控制壓印的溫度、壓力、曝光時(shí)間等參數(shù)。并且可以編輯并存儲(chǔ)在該軟件中。
AU-CUI其操作簡(jiǎn)單，功能強(qiáng)大，易于實(shí)現(xiàn)新的實(shí)驗(yàn)和非標(biāo)準(zhǔn)的加工。是納米壓印的工具。
u 壓印圖案例：
u 產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 操作簡(jiǎn)單
l 即插即用
l 結(jié)構(gòu)緊湊
l 多種用途
u 主要應(yīng)用
l 微米/納米結(jié)構(gòu)的壓印
l 高縱橫比結(jié)構(gòu)的壓印
l 聚合物的熱壓印
l 壓印模板制作
u 產(chǎn)品參數(shù)
Pressure | Imprint pressure from 0.3 - 11 bar overpressure |
Temperature | Up to 200oC with control of +/- 1oC |
UV exposure | UV led light with 365 nm wavelength and optical power of 11600 mW |
Vacuum | The imprint chamber can be evacuated down to pressure below 1 mbar |
Size of imprint chamber | Diameter of 100 mm and height of 20 mm (can be expanded up to 45 mm) |
Automated replication process | 1）Stamp and substrate are loaded manually 2）Replication process is fully automated and controlled through CNI software |
Software | Full process control and flexibility. Everything besides loading and unloading is handled by the software |
CNI customization | CNI can be modified to meet individual requirements |
On-line video instructions | On-line video installation and operation guides |
Optional | 1）Pressure booster to boost a lab compressed air supply from 3-5 bar to 6-10 bar 2）Training and/or installation by NILT personnel |
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