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超精密光學(xué)應(yīng)力測量設(shè)備

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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

150AT全自動測量系統(tǒng)全自動應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)150AT應(yīng)力雙折射系統(tǒng)是應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)家族系列產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

150AT全自動測量系統(tǒng)

全自動應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)

150AT 應(yīng)力雙折射系統(tǒng)是應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)家族系列產(chǎn)品。該應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)既可作為實驗室科研探索測量光學(xué)組件應(yīng)力分布測量，也可用作諸如玻璃面板，透鏡，晶體，硅/多晶硅、注塑成品等工業(yè)生產(chǎn)中檢測產(chǎn)品應(yīng)力分布。產(chǎn)品軟件直觀顯示待測樣品應(yīng)力情況，便于操作和日常監(jiān)測。

150AT 應(yīng)力雙折射系統(tǒng)可以根據(jù)客戶需求選擇設(shè)置，使得測量更有針對性（高精度/大范圍相位延遲量），系統(tǒng)有著測量速度的同時也具有的測量分辨能力（<1 mm="" grid="" spacing="">等設(shè)計來幫助客戶完成一些非常規(guī)掃描/測量需求。

產(chǎn)品特點

自動X/Y位移平臺掃描
二維/三維圖形/參數(shù)表格顯示樣品應(yīng)力分布測量結(jié)果
臺式整機(jī)設(shè)計組裝
靈活位移平臺設(shè)計，滿足個性化定制需求
強(qiáng)大數(shù)據(jù)擬合分析功能和友好用戶界面

參數(shù)

	高精度測量系統(tǒng)選項	大范圍相位延遲量測量選項
相位延遲量范圍:	0.005 to 120+ nm	0.005 to 300+ nm
相位延遲量測量分辨率/ 重復(fù)精度^{1, 2, 3}:	0.001 nm / ± 0.008 nm	0.0 1 nm / ± 0.015 nm
角度測量分辨率 / 重復(fù)精度¹:	0.01o / ± 0.05°	0.01o / ± 0.07°
測量速率 / 時間⁴:	up to 100 pps / sample size dependent
尺寸:	910 mm (H) x 415 mm (W) x 700 mm (D)
光源波長⁵:	Various (632.8 nm standard)
測量光斑⁶:	Between 1 mm and 3 mm native (can be as low as 50 µm)
內(nèi)置測量調(diào)制頻率:	PEMLabs^TM Photoelastic Modulator 50 kHz or 50/60 kHz
解調(diào)分析技術(shù):	Hinds Instruments Signaloc^TM Lock-in Amplifier or Wave Form Capture Card
測量單位:	nm (retardation), ° (angle)