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超精密光學(xué)應(yīng)力測(cè)量設(shè)備

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更新時(shí)間:2024-02-14 14:36:06瀏覽次數(shù):183

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150AT全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)全自動(dòng)應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)150AT應(yīng)力雙折射系統(tǒng)是應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)家族系列產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

150AT全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)

 

全自動(dòng)應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)


150AT 應(yīng)力雙折射系統(tǒng)是應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)家族系列產(chǎn)品。該應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)既可作為實(shí)驗(yàn)室科研探索測(cè)量光學(xué)組件應(yīng)力分布測(cè)量,也可用作諸如玻璃面板,透鏡,晶體,硅/多晶硅、注塑成品等工業(yè)生產(chǎn)中檢測(cè)產(chǎn)品應(yīng)力分布。產(chǎn)品軟件直觀顯示待測(cè)樣品應(yīng)力情況,便于操作和日常監(jiān)測(cè)。

 

150AT 應(yīng)力雙折射系統(tǒng)可以根據(jù)客戶(hù)需求選擇設(shè)置,使得測(cè)量更有針對(duì)性(高精度/大范圍相位延遲量),系統(tǒng)有著測(cè)量速度的同時(shí)也具有的測(cè)量分辨能力(<1 mm="" grid="" spacing="">等設(shè)計(jì)來(lái)幫助客戶(hù)完成一些非常規(guī)掃描/測(cè)量需求。



產(chǎn)品特點(diǎn)

自動(dòng)X/Y位移平臺(tái)掃描
二維/三維圖形/參數(shù)表格顯示樣品應(yīng)力分布測(cè)量結(jié)果
臺(tái)式整機(jī)設(shè)計(jì)組裝
靈活位移平臺(tái)設(shè)計(jì),滿(mǎn)足個(gè)性化定制需求
強(qiáng)大數(shù)據(jù)擬合分析功能和友好用戶(hù)界面

 

參數(shù)


高精度測(cè)量系統(tǒng)選項(xiàng)

大范圍相位延遲量測(cè)量選項(xiàng)

相位延遲量范圍:

0.005 to 120+   nm

0.005 to 300+   nm

相位延遲量測(cè)量分辨率/
 
重復(fù)精度1, 2, 3:

0.001 nm / ±   0.008 nm

0.0

1 nm / ± 0.015   nm

角度測(cè)量分辨率 /
 
重復(fù)精度1:

0.01o / ±   0.05°

0.01o / ±   0.07°

測(cè)量速率 / 時(shí)間4:

up to 100 pps   /
  sample size dependent


尺寸:

910 mm (H) x   415 mm (W) x 700 mm (D)


光源波長(zhǎng)5:

Various (632.8   nm standard)


測(cè)量光斑6:

Between 1 mm   and 3 mm native
  (can be as low as 50 µm)


內(nèi)置測(cè)量調(diào)制頻率:

PEMLabsTM Photoelastic   Modulator
  50 kHz or 50/60 kHz


解調(diào)分析技術(shù):

Hinds   Instruments SignalocTM
  Lock-in Amplifier or Wave Form
  Capture Card


測(cè)量單位:

nm   (retardation), ° (angle)


 

1 Typical performance at 5 nm retardation

2 Up to 0.8 nm, 1% thereafter

3 Up to 1.5 nm, 1% thereafter

4 Maximum data collection speed. Sample XY scan time dependent on stage movement parameters.

5 Custom wavelengths available

6Spot sizes of less that 1 mm native require optional high resolution detector module

 

選項(xiàng):

* Additional Polarization Parameters

* 超高速掃描選項(xiàng)

* 光譜掃描測(cè)量和RGB測(cè)量

* 客戶(hù)定制內(nèi)置波長(zhǎng)選項(xiàng)(紫外/紅外)

* 手動(dòng)/自動(dòng)傾斜位移平臺(tái)裝置

* 定制樣品平臺(tái)加持誰(shuí)記

* 定制化顯示界面 (UI or DLL)

* 應(yīng)力計(jì)算評(píng)估軟件


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