詳細(xì)介紹
陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡
昊量光電新推出用于微電子、半導(dǎo)體、絕緣材料、地質(zhì)學(xué)和礦物學(xué)材料測(cè)量的法國(guó)NewTec陰極射線顯微鏡。陰極發(fā)光是一種光譜方法,它可以在局部尺度上識(shí)別缺陷和雜質(zhì),這些缺陷和雜質(zhì)與被電子槍轟擊的材料的發(fā)光特性有關(guān)。
陰極射線顯微鏡組成:
配有相機(jī)的光學(xué)顯微鏡(低亮度)
裝有電動(dòng)樣品支架的
雙層真空泵及附件
帶電纜電子槍
電源控制器及控制軟件
陰極射線顯微鏡特點(diǎn):
等離子體穩(wěn)定控制
自動(dòng)擊發(fā)
半定量測(cè)量
分光計(jì)定量測(cè)量
極限空間分辨率<>
可選項(xiàng):加熱and/or冷卻