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陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡

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更新時(shí)間:2024-02-14 15:23:51瀏覽次數(shù):246

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陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡昊量光電新推出用于微電子、半導(dǎo)體、絕緣材料、地質(zhì)學(xué)和礦物學(xué)材料測(cè)量的法國(guó)NewTec陰極射線顯微鏡

詳細(xì)介紹

陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡

昊量光電新推出用于微電子、半導(dǎo)體、絕緣材料、地質(zhì)學(xué)和礦物學(xué)材料測(cè)量的法國(guó)NewTec陰極射線顯微鏡。陰極發(fā)光是一種光譜方法,它可以在局部尺度上識(shí)別缺陷和雜質(zhì),這些缺陷和雜質(zhì)與被電子槍轟擊的材料的發(fā)光特性有關(guān)。


陰極射線顯微鏡組成:

  • 配有相機(jī)的光學(xué)顯微鏡(低亮度)

  • 裝有電動(dòng)樣品支架的

  • 雙層真空泵及附件

  • 帶電纜電子槍

  • 電源控制器及控制軟件


陰極射線顯微鏡特點(diǎn):

  • 等離子體穩(wěn)定控制

  • 自動(dòng)擊發(fā)

  • 半定量測(cè)量

  • 分光計(jì)定量測(cè)量

  • 極限空間分辨率<>

  • 可選項(xiàng):加熱and/or冷卻

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