一、太陽能光伏用超純水設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域

石英石墨干鍋太陽能硅片清洗、拉晶切片用水、硅材料清洗用水、制取電子工業(yè)生產(chǎn)如單晶硅、半導(dǎo)體、集成電路塊、IC芯片封裝、顯象管、玻殼、液晶顯示器、光學(xué)、光電、熱電廠、冶金、化工等

二、太陽能光伏用超純水設(shè)備工藝流程

1、一級反滲透 混床（出水2---15mΩ.cm）

原水箱—原水泵—全自動全自動多介質(zhì)過濾器—全自動活性炭過濾器—全自動軟水器→保安過濾器→高壓泵—反滲透主機→純水箱—純水泵→陰陽離子交換混床→微孔過濾器—儲水罐→純水輸送泵→用水點

2、一級反滲透 EDI系統(tǒng)（出水5---15mΩ.cm）

原水箱→原水泵→全自動多介質(zhì)過濾器→全自動活性炭過濾器→全自動軟水器→保安過濾器→高壓泵→反滲透主機→純水箱—EDI系統(tǒng)→儲水罐→純水輸送泵→用水點

3、二級反滲透 EDI系統(tǒng)（出水18mΩ.cm）

原水箱—原水泵→全自動多介質(zhì)過濾器→全自動活性炭過濾器→全自動軟水器→保安過濾器→一級高壓泵→級反滲透主機→PH調(diào)節(jié)→二級級高壓泵→二級反滲透→純水箱→脫氣裝置→微孔過濾器→EDI系統(tǒng)→拋光混床系統(tǒng)—儲水罐→純水輸送泵→用水點

三、出水標(biāo)準(zhǔn)

符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)、符合《中國電子行業(yè)超純水國家標(biāo)準(zhǔn)》GB/T1146.1-1997

（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm）