MetOne 255標準粒子發(fā)生裝置

氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序

校正所需設(shè)備：

100 級潔凈房或潔凈臺

一臺用于作對比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器，如 Metone3400

各粒徑的標準粒子，如 0.3um  0.5um  1um 等等

標準粒子氣體產(chǎn)生器，如 Model 255

可產(chǎn)生脫離水（ DI 水）的純水系統(tǒng)或類似裝置

  其它普通電器，如 220V 電源插座，萬用表等等

校正的基本原理

標準粒子（如 0.301um ）通過 255 粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過 0.2um 的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進行抽樣測試，并比校 0.3um 粒徑的測試值。如果其平均值在 20% 以內(nèi)，認為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器，一定要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。

三 . 校正的基本步驟：

現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的 Metone227B 作校正

首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測試原理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。

首先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內(nèi)也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預(yù)熱半小時。

  準備好 255 的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

將配好的標準液（如 0.301um ）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

  設(shè)置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數(shù)

取樣時間都設(shè)置為 00 ： 01 ： 00

取樣次數(shù)都設(shè)置 03

取樣模式都設(shè)置為 Auto

間隔時間都設(shè)置為 00 ： 00 ： 05

讀數(shù)模式都設(shè)置為 Cumulative

注：以上設(shè)置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測試結(jié)果會是 Metone227B 的 10 倍。

此時，打開 255 電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約 60SCFH 時后，保持其工作狀態(tài)。

此時，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作，看其三次的平均結(jié)果，若在 20% 以內(nèi)，視為合格。

拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復(fù)該測試。
  以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數(shù)測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。

價格說明

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未劃線價格：未劃線的價格是商品在阿里巴巴中國站上的銷售標價，具體的成交價格根據(jù)商品參加活動，或因用戶使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以訂單結(jié)算頁價格為準。
活動預(yù)熱狀態(tài)下：: 劃線價格：劃線的價格是商品在目前活動預(yù)熱狀態(tài)下的銷售標價，并非原價，具體的成交價可能因用戶使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以訂單結(jié)算頁價格為準。
未劃線價格：未劃線的價格可能是商品即將參加活動的活動價，僅供參考，具體活動時的成交價可能因用戶使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以活動是訂單結(jié)算頁價格為準。
伙拼折上折活動狀態(tài)下：: 該商品（部分規(guī)格除外）在伙拼折上折活動期間內(nèi)，買家可享受伙拼折上折活動優(yōu)惠價格（該價格較同時期伙拼日?；顒觾r格更優(yōu)惠）。