低溫等離子體廢氣處理：

      等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到擊穿電壓時，氣體分子被電離，產(chǎn)生包括電子、離子、原子和原子團在內(nèi)的混合體。低溫等離子體放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體，也叫非平衡態(tài)等離子體。

　　低溫等離子體廢氣處理成套設(shè)備和技術(shù)是在原電暈放電基礎(chǔ)上由高頻高壓電場通過放電產(chǎn)生的新一代低溫等離子體技術(shù)具有能量高、電子發(fā)射等特點，其凈化原理如下：

　　在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團，當(dāng)污染物 分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得氣體分子。

　　等離子體中包含大量的電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，同時產(chǎn)生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性的O3，能與氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成產(chǎn)物。

　　物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。

　　生物作用表現(xiàn)在具有之功效。機理為：等離子體中的正負(fù)粒子使微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于其細(xì)胞膜表面張力，致使細(xì)胞膜遭到破壞而導(dǎo)致微生物死亡。

　　在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團，同時空氣中 的氧氣和水分在電子的作用下也可產(chǎn)生大量的態(tài)氫、活性氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)。從等離 子體的活性基團組成可以看出，等離子體內(nèi)部富含化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較量的活性基團 發(fā)生反應(yīng)，最終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。