通常指混合氣體中臭氧的濃度，一般用質(zhì)量比和體積比表示。品質(zhì)比是指臭氧在一個單位體積內(nèi)所含混合氣體的品質(zhì)含量，通常用mg/L,mg/m3，或者g/m3等等來表示。容積率是指臭氧在單位容積中所占的容積率，用百分比表示如2%,5%,12%等等。健康產(chǎn)業(yè)通常使用ppm來表示臭氧濃度，也就是說，在每立方臭氧混合氣體中，大型氧氣源臭氧發(fā)生器結構所占體積的百萬分之一等于1ppm。臭氧氣濃度是臭氧發(fā)生器的一項重要技術指標。在相同條件下，臭氧輸出濃度越高，其質(zhì)量度越高。

其主要影響因素是臭氧濃度。
1.臭氧發(fā)生器的結構及加工精度；
2.冷卻方式及條件；
3.驅(qū)動電壓及驅(qū)動頻率；
4..介電材料；
5.原料氣體中氧的含量及其對干燥度的影響。
6.發(fā)電機供電系統(tǒng)的效率(率、低熱量轉換)；

臭氧氣是一種易氧化、不穩(wěn)定的氣體，其輸出臭氧濃度受多種因素影響，其中腔溫是一個非常重要的因素；臭氧在30度左右會在1分鐘內(nèi)衰減一半。當溫度為40~50℃時衰減80%。臭氧層溫度超過60℃會立即分解。
大型氧氣源臭氧發(fā)生器結構是指臭氧發(fā)生器每單位時間產(chǎn)生的臭氧量；臭氧濃度值與進入臭氧發(fā)生器的空氣總量值乘積，即為臭氧產(chǎn)率；一般用mg/h、g/h和kg/h來表示。在臭氧發(fā)生器的標準中，規(guī)定了臭氧發(fā)生器的規(guī)格型號，使用臭氧的產(chǎn)量表示和區(qū)別。以g/h表示的小型臭氧發(fā)生器，以kg/h表示的規(guī)模型臭氧發(fā)生器，不同的規(guī)格尺寸。