目前使用臭氧代替氯消毒主要的因素，也是傳統(tǒng)使用氯消毒的美國、日本等都在快速發(fā)展采用臭氧處理自來水的主要原因，在于隨著水源受有機化學(xué)工業(yè)產(chǎn)物污染，氯消毒后會產(chǎn)生氯仿、溴、等氯化有機物（THM）這些物質(zhì)具有致癌性，而臭氧處理中不產(chǎn)生二次污染化合物。臭氧還可用于游泳池水的消毒，水中的魚類致病菌也有較好的殺滅作用。廢氣處理臭氧發(fā)生器吸收作為廢氣處理的前處理工藝，僅需設(shè)置相應(yīng)的排風(fēng)管道及排風(fēng)動力，使臭氣經(jīng)本設(shè)備脫臭分解凈化，不需添加任何化學(xué)反應(yīng)物質(zhì)。臭氧氣對去除水中的臭氣非常有效。除工業(yè)污染外，水體中的臭氣物質(zhì)也可能是由微生物引起的土味、霉味、藻味等。根據(jù)微生物研究，水中的放線菌產(chǎn)生了霉味，因為放線菌產(chǎn)生了抗生物物質(zhì)，細菌死亡后就會變臭。這一發(fā)現(xiàn)證實了發(fā)出土味的物質(zhì)是水中微生物的代謝產(chǎn)物，叫做geosmin(C12H18O22)，而發(fā)出霉味的化合物叫mucidune(C12H18O2)，是一種惡臭物質(zhì)等，加入4.8ppm臭氧后，臭氣濃度達到50度時就會變成無臭氣，在小型實驗設(shè)備上加2ppm臭氧，可以將臭氣濃度從20降到0。在去除水中25度以下臭氣的試驗中，臭氧注入率可達0.1-1.5ppm。
除臭可采用以下方法：
惡臭氣體來源單一，可采用單純廢氣處理臭氧發(fā)生器氧化法。
臭氧+活性炭吸附法：臭氧是一種強效氧化劑，在氧化臭的同時還能打通活性炭的微空，提高活性炭的吸附能力，延長使用壽命，節(jié)省更換成本。