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成都沃特塞恩電子技術有限公司


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HMPS-2060P的微波等離子體CVD設備

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：宛女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-07-11 17:39:17瀏覽次數(shù)：203次

聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：47條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：宛女士 （市場專員）

產(chǎn)品簡介

HMPS-2060P的微波等離子體CVD設備 沃特塞恩旗下的和瑞微波事業(yè)部專業(yè)從事微波能、微波等離子體應用技術研發(fā)及MPCVD設備生產(chǎn)、具有多項自主知識產(chǎn)權……，我司生產(chǎn)的這款型號為HMPS-2060P的微波等離子體CVD設備具有以下優(yōu)勢特點：. 微波反應腔新型設計，功率密度大。. 產(chǎn)品沉積速率快、沉積質量高。. 開關型微波電源，微波輸出穩(wěn)定性高。. 性能*，安......

詳細介紹

技術規(guī)格
（1）型號HMPS-2060S
（2）電源AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入＜10KVA
（3）微波輸出功率0.5~6kW 連續(xù)可調
（4）功率穩(wěn)定度優(yōu)于2%
（5）紋波≤1%
（6）微波頻率   2450MHz±50MHz
（7）測溫方式     紅外300~1400℃
（8）極限真空度6×10-6torr
（9）腔體內工作壓力   7torr~250torr
（10）樣品臺 Φ60mm
（11）樣品臺軸向調節(jié)范圍 0-60mm
（12）工作氣氛五路（可用戶定制）
（13）微波泄漏值 ＜5mW/cm2
（14）工作環(huán)境 溫度15-40℃，相對濕度≤60%，無腐蝕性氣體
（15）冷卻水＞22L/Min


應用范圍

適合光學、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積，材質表面處理、低溫氧化物的生長等。



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