用途：
測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作測量，適用于電子行業(yè),機(jī)械加工。用來測量電子線路的寬度和精細(xì)小工件的幾何尺寸，以及其它零件測量。
本儀器工作臺具有XY直角坐標(biāo)系和O點極坐標(biāo)系。
本儀器可以做為測量儀器使用，用作不透明物體的觀察與測量。具有明暗場，微分干涉，F(xiàn)A測量等擴(kuò)展功能.
主要技術(shù)參數(shù)
鏡筒 | 頭 部 | 三目，30?傾斜, 可99%通光攝影 | |
粗 動 | 立桿調(diào)節(jié)80mm，調(diào)節(jié)范圍 30mm | ||
微 動 | 0.001mm/格 | ||
高（Z軸)測量 | 10～25mm（可選） 1mm最小讀數(shù)0.001mm（干分表讀數(shù)） | ||
工作臺 | 尺 寸 | 工作臺160*160mm | |
左右（X軸） | 移動范圍50mm | ||
前后（Y軸） | 移動范圍50mm | ||
測量分度值 | 0.5um | ||
玻璃工作臺 | 360°旋轉(zhuǎn)， 分度值1° | ||
手輪 | 數(shù) 顯 | XY數(shù)顯解析度0.001mm | |
普 通 | 手輪讀數(shù)0.01mm(定制0.005mm） | ||
光學(xué)系統(tǒng) | 目鏡 | WF 10X/22mm | |
無窮遠(yuǎn)平場長工作距離物鏡 | PLL5X 工作距離:26.1mm | ||
PLL10X 工作距離:20.2mm | |||
PLL20X 工作距離：8.80 mm | |||
PLL40X 工作距離:3.68mm | |||
PLL60X 工作距離：3.18 mm (選購) | |||
其它 | 濾色片 | 藍(lán)、綠、黃、磨砂 | |
正交偏光 | 透反射機(jī)型中配有 | ||
照明系統(tǒng) | 光源 | 透射照明 | LED光源 藍(lán)、綠濾色片 |
反射照明 | 12V50W 鹵素燈 | ||
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ | ||
選購件：
1.目鏡：10X帶尺可調(diào)目鏡
2.長工作距離平場物鏡：PLL50X、PLL80X 、PL100X物鏡（DIC暫且除外）
3.三豐數(shù)顯手輪或光柵及數(shù)顯/屏顯
4.數(shù)碼攝像頭或單反相機(jī)
環(huán)保在線