MFC30質(zhì)量流量控制器采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制，由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測(cè)量值。
本型號(hào)產(chǎn)品滿(mǎn)量程可以再5sccm-30SLM的范圍內(nèi)任意定制。
MFC30質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)
穩(wěn)定性和可靠性高     ±0.2%F.S的高重復(fù)精度    可應(yīng)用大多數(shù)腐蝕性氣體
同類(lèi)產(chǎn)品尺寸zui小     安裝尺寸兼容         不受溫度及壓力變化影響                     
滿(mǎn)量程可在5sccm-30SLM范圍任意定制
標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)定氣體：氮?dú)猓∟2）                    
標(biāo)定溫度：溫度273.15K（0 ºC）             標(biāo)定壓力：101325pa(760mm Hg)
輸入輸出信號(hào)
0~5.00V（輸入阻抗大于100KΩ）輸出電流不大于3mA
流量規(guī)格
0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm
0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM
注：滿(mǎn)量程流量不限于此處列出的規(guī)格，可再滿(mǎn)量程5sccm-30SLM范圍內(nèi)任意選擇,列如:123sccm
質(zhì)保與服務(wù)
我公司承諾對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)保期為壹年，再您收到產(chǎn)品壹年內(nèi)，如果按照說(shuō)明書(shū)要求使用，遵守安全注意事項(xiàng)，并且產(chǎn)品沒(méi)有損壞，改裝或翻新，若有任何故障和問(wèn)題，我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)維修或更換產(chǎn)品部件。
再質(zhì)保期外，我們提供終生維修和維護(hù)服務(wù)，但適當(dāng)收取維修和維護(hù)的成本費(fèi)，維修和維護(hù)后，維修部分的部件同樣質(zhì)保壹年。
我公司有專(zhuān)業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關(guān)于安裝和使用等各方面的問(wèn)題，并提供產(chǎn)品的使用培訓(xùn)。