1.快速掃描

X射線熒光元素分析儀憑借150萬CPS的高計數(shù)率檢測器完成高靈敏度的測量，以及借助250 mm×200 mm范圍掃描的快速電動樣品臺，實現(xiàn)快速掃描測量。對于范圍為100 mm×100 mm的情況，可在2～3分鐘內(nèi)檢測出端子部分的鉛并確定其位置。

2. 連續(xù)多點測量

可500個測量位置進行連續(xù)多點測量。由于采用自動測量方式，因此在測量大量樣品是，也可發(fā)揮高效率。

3. 高精密重合

X射線熒光元素分析儀通過Telecentric Lens 系統(tǒng)和高速?高精度XY平臺，將元素掃描像和光學(xué)成像進行重合對微小部品的中心部分的目標(biāo)元素也能進行簡單觀察。大250 mm×200 mm上方觀察，并且能夠?qū)崿F(xiàn)廣域位置誤差為100 µm以內(nèi)的精確定位。

4. 微小部位測量

在FT系列中被*的測量鍍膜膜厚儀器就是由EA6000VX。不用說極薄的鍍金等膜厚測量，即便是在進行鍍膜鐘所含的Pb等有害物質(zhì)分析的膜壓測量的同時也可進行膜厚測量。比如也可進行無鉛焊錫鍍層及引線框架上Sn鍍層，無電解Ni鍍膜中所含的有害物質(zhì)的濃度測量。

5. 環(huán)境中限制物的測量

RoHS等限制物的高靈敏度測量，短時間內(nèi)測出樹脂、金屬等中含有的微量環(huán)境限制物。對復(fù)合樣品也可專注到特定部位進行測量。

6. 輕元素測量

通過安裝充氦選購項，可以分析鈉開始的輕元素。測量中能夠獨立運轉(zhuǎn)的氦氣系統(tǒng)。將使用成本化降低。