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FT110AX射線熒光鍍層厚度測量儀

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更新時間:2020-08-01 23:01:12瀏覽次數(shù):694

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產(chǎn)品簡介

FT110AX射線熒光鍍層厚度測量儀通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。

詳細介紹

1. FT110AX射線熒光鍍層厚度測量儀通過自動定位功能提高操作性

測量樣品時,以往需花費約10秒的樣品對焦,現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成,大大提高樣品定位的操作性。

2. 微區(qū)膜厚測量精度提高

通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。

3. FT110AX射線熒光鍍層厚度測量儀多達5層的多鍍層測量

使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。

4. 廣域觀察系統(tǒng)(選配)

可從大250×200mm的樣品整體圖像測量位置。

5. 對應(yīng)大型印刷線路板(選配)

可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。

6. 低價位

與以往機型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價格。

型號FT110A
測量元素原子序號Ti(22)~Bi(83)
X射線源空冷式小型X射線管
管電壓:50(可變更)kV
管電流:10~1000µA
檢測器比例計數(shù)管
準直器○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種
樣品觀察CCD攝像頭
對焦激光對焦(自動)
濾波器一次濾波器(自動切換)
樣品區(qū)域[固定]535×530 mm
[電動] 260×210 mm (移動量X:250 mm, Y:200 mm)
測量軟件薄膜FP法(大2層、10種元素)、檢量線法
安全功能樣品室門聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能

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