應(yīng)用范圍 ? 材料科學(xué) ? 高分子科學(xué) ? 生物醫(yī)藥材料學(xué)，醫(yī)療支架 ? 微流體研究及PDMS ? 微電子機(jī)械系統(tǒng)研究 ? 光學(xué) ? 顯微術(shù) ? 電池極性材料，硅基，金屬半導(dǎo)體，陶瓷 ? 科研、實驗、教學(xué)

詳細(xì)介紹

石英等離子清洗機(jī)是專門針對高潔凈度敏感產(chǎn)品處理需求的產(chǎn)品。作為有針對的設(shè)計，提供多種配置功能選項。并具有高性能以及穩(wěn)定性，操作方便的使用特性。

并可以控制在極低的腔體溫度，特別適用于溫度敏感器件。

產(chǎn)品規(guī)格

型號	JL-VQ05	JL-VQ10	JL-VQ15	JL-VQ20
容量	5L	10L	15L	20L
功率	300W可調(diào)	500W可調(diào)	1000W可調(diào)	1000W可調(diào)
頻率	13.56MHZ	13.56MHZ	13.56MHZ	13.56MHZ
腔尺寸	D160*220	D240*260	D240×420	D320×320
腔體材質(zhì)	石英	石英	石英	石英
等離子體	耦合,腔體內(nèi)無電極	耦合,腔體內(nèi)無電極	耦合,腔體內(nèi)無電極	耦合,腔體內(nèi)無電極
真空度	5~100Pa	5~100Pa	5~100Pa	5~100Pa
真空泵	真空泵	真空泵	真空泵	真空泵
氣體流量	0~500ML/MIN	0~500ML/MIN	0~500ML/MIN	0~500ML/MIN
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
氣體通道	二路	二路	二路	二路
外形尺寸	500(W)550(D)500(H)	500(W)550(D)500(H)	560(W)700(D)550(H)	560(W)700(D)550(H)
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石英等離子清洗機(jī)原理及功能簡介：

等離子體能與固體和氣體發(fā)生相互作用，這是等離子體在材料處理過程中發(fā)揮作用的前提。等離子體處理材料的四種基本工藝過程是：等離子體能產(chǎn)生高能粒子，等離子體能濺射產(chǎn)生金屬原子，等離子體能發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以及等離子體能高效地將電能轉(zhuǎn)化成為熱能。其中的某單一過程或多個過程都能對材料起到一定的改性作用。

石英等離子清洗機(jī)采用電感耦合式工作原理，利用真空泵達(dá)到一定的真空值后，在電感的作用下，形成了活性很高的等離子體，由此產(chǎn)生的等離子體可以達(dá)到表面改性清洗處理的效果。通過其處理，能夠改善材料表面的浸潤能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍膜等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂。

該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、提高濕潤性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變、提高結(jié)合力等處理效果。且不產(chǎn)生金屬污染。

應(yīng)用范圍

u 材料科學(xué)

u 高分子科學(xué)

u 生物醫(yī)藥材料學(xué)，醫(yī)療支架

u 微流體研究及PDMS

u 微電子機(jī)械系統(tǒng)研究

u 光學(xué)

u 顯微術(shù)

u 電池極性材料，硅基，金屬半導(dǎo)體，陶瓷

u 科研、實驗、教學(xué)

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。
2、不會對人員的身體造成任何傷害
3、低成本。

產(chǎn)品特點

產(chǎn)品主要適用于規(guī)模生產(chǎn)/科學(xué)實驗
設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,操作簡單容易維護(hù)
引進(jìn)德國核心等離子技術(shù)
石英材質(zhì),耐腐蝕，不產(chǎn)生金屬污染。
進(jìn)口針閥精密流量控制計
多路工藝反應(yīng)氣體通道
可以根據(jù)客戶需求定制