產(chǎn)品簡介：
使用超聲波噴霧熱解技術(shù)可以制造均勻的銦錫氧化物（ITO），鋁摻雜的氧化鋅（AZO），氧化鋅（ZnO）和氟摻雜的氧化物層薄膜。這種的工藝需要專門的涂層設(shè)備來制造必要的涂層厚度和形態(tài)，并還可以在高溫環(huán)境下噴涂腐蝕性溶液。
在高溫超聲波噴霧熱解過程中，將諸如ZnO的前體溶液噴霧到加熱至約300-500攝氏度的基材上。溶劑在運(yùn)輸過程中蒸發(fā)，并且ZnO結(jié)晶膜在通常為鈉鈣或其他玻璃的基底表面上形成?；臏囟韧ǔQ定了薄膜的形貌特征。
超聲波噴霧沉積提供了一種成本效益高的替代方法，可替代真空沉積法和濺射法，傳輸效率更高。超聲波霧化噴嘴產(chǎn)生的液滴高度均勻，可以實(shí)現(xiàn)尺寸的液滴進(jìn)行熱解反應(yīng)，并且所有液滴在沉積過程中將以相同的方式同時發(fā)生反應(yīng)。這樣就可以在研發(fā)或大批量生產(chǎn)中實(shí)現(xiàn)高效的TCO生產(chǎn)過程。
霧化原理：
是通過壓電換能器將高頻聲波轉(zhuǎn)換成機(jī)械能，再將機(jī)械能轉(zhuǎn)換成液體，這種縱向向上和向下的振動在超聲波噴嘴堅(jiān)端的應(yīng)用液體薄膜中產(chǎn)生駐波，在那里這些波的振幅可以由功率發(fā)生器控制。這些靜止的液體波可以從超聲噴嘴的頂端向上延伸，當(dāng)液滴離開噴嘴的霧化表面時，被分解成均勻的微米級甚至納米級液滴的細(xì)霧。
設(shè)備組成：
整機(jī)由超聲波霧化噴嘴，專用驅(qū)動電源，XYZ三軸聯(lián)動伺服系統(tǒng)，智能化操作系統(tǒng)，液體供給系統(tǒng)，低速空氣整形裝置，外殼箱體等組成。
霧化噴嘴：
使用鈦合金超聲波噴嘴克服了噴涂高腐蝕性酸的工藝難題，該噴嘴采用耐腐蝕的鈦合金材料制成，即使噴涂高腐蝕性的鹽酸或氫氟酸溶液，也不會堵塞，可重復(fù)，使用壽命長，并提供*的聲學(xué)性能。我們提供類型有：長嘴型--寬噴型--探入型--散射型--聚攏型--線噴型等六種超聲波霧化噴嘴。
產(chǎn)品優(yōu)勢：
與CVD（化學(xué)氣相沉積）工藝相比，超聲波噴霧熱解簡單，靈活且具有成本效益。
久經(jīng)考驗(yàn)的TCO涂層專業(yè)知識。
超聲波噴嘴比其他噴涂方法沉積更均勻的涂層。
易于調(diào)整和可重復(fù)的涂層參數(shù)。
集成的轉(zhuǎn)利超聲噴嘴技術(shù)和液體輸送技術(shù)，提供了完整的涂層解決方案。
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