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高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2022-04-04 10:39:10瀏覽次數(shù)：215次

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超聲波霧化噴涂設(shè)備

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杭州泛索能超聲科技有限公司

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商鋪產(chǎn)品：488條

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)是一款適用于科研實(shí)驗(yàn)的小型精密?chē)娡繖C(jī)，采用FUNSONIC超聲波噴涂技術(shù)，用于高均勻度的亞微米及納米級(jí)薄膜涂覆，廣泛應(yīng)用于燃料電池、太陽(yáng)能電池、玻璃鍍膜、電子電路等行業(yè)。

詳細(xì)介紹

60K 桌面型

60K 寬噴型

高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)簡(jiǎn)介：

在傳統(tǒng)的高速旋涂無(wú)法提供均勻覆蓋深孔形貌或高縱橫比的應(yīng)用中，高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)用均勻的光刻膠薄膜涂覆半導(dǎo)體成為了完整的解決方案。與傳統(tǒng)的旋涂相比，采用超聲波噴涂的光致抗蝕劑涂層在沉積更均勻的涂層方面具有優(yōu)勢(shì)，特別是在高深寬比溝槽和v形槽結(jié)構(gòu)中沿側(cè)壁頂部沉積時(shí)，離心旋涂無(wú)法沉積均勻的涂層沿著側(cè)壁形成膜，而沒(méi)有過(guò)多的光致抗蝕劑沉積在腔體的底部。事實(shí)證明，使用超聲技術(shù)進(jìn)行直接噴涂是將光刻膠沉積到3D微結(jié)構(gòu)上的可靠且有效的方法，從而減少了因金屬過(guò)度暴露于抗蝕劑涂層而導(dǎo)致的設(shè)備故障。

噴嘴：

噴嘴由高強(qiáng)度鈦合金和其他專(zhuān)有金屬制造，使它們特別耐化學(xué)腐蝕，并提供*的聲學(xué)性能。我們提供類(lèi)型有：長(zhǎng)嘴型--寬噴型--探入型--散射型--聚攏型--線噴型等六種超聲波霧化噴嘴。

優(yōu)勢(shì)：

1、在MEA制造中證明了鉑的利用率高達(dá)90%。

2、高孔涂層非常耐用，防止催化劑層開(kāi)裂或剝落。

3、可減少50%的材料消耗，減少過(guò)噴，節(jié)省昂貴的催化劑墨水。

4、清潔，的噴霧模式，易于成型各種圖案。

5、高度可控的噴霧，產(chǎn)生可靠一致的結(jié)果。

6、不堵塞的霧化噴霧，不會(huì)偏離軌跡。

7、超低流量能力，可間歇或連續(xù)噴涂。

8、超聲振動(dòng)不斷地打破團(tuán)聚的顆粒，使其均勻分散，使鉑的利用率化。

9、能夠用非常小的液體樣品(只需10ml的催化劑溶液涂覆多個(gè)PEM)。適用于研發(fā)階段。