霍爾效應(yīng)測(cè)試儀，是用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必*的工具。

該儀器為性能穩(wěn)定、功能強(qiáng)大、性價(jià)比高的霍爾效應(yīng)儀,在國內(nèi)高校、研究所及半導(dǎo)體業(yè)界擁有廣泛的用戶和知*度。儀器輕巧方便，易于攜帶，主要用于量測(cè)電子材料之重要特性參數(shù)，如載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等，薄膜或固體材料均可。

本儀器系統(tǒng)由：電磁鐵、高精度電源、高斯計(jì)、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾探頭、電纜、標(biāo)準(zhǔn)樣品、樣品安裝架、系統(tǒng)軟件。

自動(dòng)化霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)組成：

高精度磁鐵電源

※ 雙極性恒流輸出

① 電源輸出電流可在正負(fù)額定★大電流之間連續(xù)變化；

② 電流可以平滑過零點(diǎn)，非開關(guān)換向；

③ 輸出電流、電壓四象限工作（適合感性負(fù)載）；

④ 電流變化速率可設(shè)置范圍為0.0007～0.3 F.S./s(F.S.為額定★大輸出電流）。

※ 電流穩(wěn)定度高，紋波低

①電流穩(wěn)定度：優(yōu)于±25ppm/h（標(biāo)準(zhǔn)型），優(yōu) 于±5ppm/h（高穩(wěn)型）；

② 電流準(zhǔn)確度：±（0.01%設(shè)定值+1mA）； 

③ 電流分辨率：20 bit，例 15A 電源，電流分辨率為 0.03mA；

④ 源效應(yīng)：≤ 2.0×10-5 F.S.（在供電電壓變化 10%時(shí)，輸出電流變化量）；

⑤ 負(fù)載效應(yīng)：≤ 2.0×10-5 F.S.（在負(fù)載變化 10%時(shí)，輸出電流變化量）；

⑥ 電流紋波（RMS）：小于1mA。

 霍爾樣品架:

用于固定，焊接霍爾器件，四探針壓點(diǎn)使接觸更方便牢。高精度高斯計(jì)：分辨力：0.01Gs，量程：0-±3T，精度：0.1% ，標(biāo)準(zhǔn) 232 數(shù)字接口與控制端口。

電壓電流數(shù)采儀：

恒流源量程：±50nA-±50mA，分辨力 0.1nA 在量程范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，高 精 度 電 壓 數(shù) 采 儀 范 圍 0. 1uV-30V，精度：.01%內(nèi)置測(cè)試矩陣轉(zhuǎn)換卡，

 電磁鐵：

極頭直徑 50mm.NS間距10mm時(shí)*大磁場(chǎng)1.07T，間距 20mm 時(shí)*大磁場(chǎng) 0.7T，可實(shí)現(xiàn)在*大磁場(chǎng)范圍內(nèi)連續(xù)，變化（可調(diào)）自重 30 公斤。

歐姆接觸套件 ：

專業(yè)做歐姆接觸用銦片以及相，應(yīng)焊接套裝，材料標(biāo)準(zhǔn)樣片，硅片，砷化鎵 2 阻值：300-500 歐姆。

測(cè)試系統(tǒng)軟件：

定位采集，數(shù)字溫度顯示，I-V，曲線及 I-R 曲線測(cè)量，得到體載，流子濃度等各類參數(shù)曲線圖形。