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高阻型霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)的技術(shù)指標(biāo)

時(shí)間:2021/11/13閱讀:317
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高阻型霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)的技術(shù)指標(biāo):

* 磁 場(chǎng):10mm 間距為 2T ;30mm 間距為 1T

* 樣品電流:0.05uA~50mA(調(diào)節(jié) 0.1nA)

* 測(cè)量電壓:0.1uV~30V

* 提供各類(lèi)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)材料,各級(jí)別硅與砷化鎵(靈敏度與精度不同)

* *小分辨率:0.1GS

* 磁場(chǎng)范圍:0-1T

* 配合高斯計(jì)或數(shù)采板可計(jì)算機(jī)通訊

* I-V 曲線及 I-R 曲線測(cè)量等

* 霍爾系數(shù)、載流子濃度等參數(shù)隨溫度的變化曲線

* 電阻率范圍:5*10-4~108Ω.cm

* 電阻范圍:10 mΩ-100GΩ

* 載流子濃度:6*108~1023cm-3

* 遷移率:1~106cm2/vs

* 控溫精度: 0.1K

* 溫區(qū):4K-773K(選配)

* 霍爾系數(shù):±1*10-5~±1*1010cm3/C

* 測(cè)試全自動(dòng)化,一鍵處理

* 可實(shí)現(xiàn)相同溫差間的連續(xù)測(cè)量

高阻型霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)的技術(shù)指標(biāo)

各系統(tǒng)參數(shù):

高精度電磁鐵

極頭直徑 100mm;

N,S 間距 10mm 時(shí)*大磁場(chǎng) 20000Gs;

N,S 間距 20mm 時(shí)*大 13000 高斯;

N, S 間距 30mm 時(shí)*大磁場(chǎng) 10000 高斯;

均勻區(qū):間距 60mm 時(shí)直徑 10mm均勻度范圍; 1%

自重 110 公斤 含支架及輪子

高阻型霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)的技術(shù)指標(biāo)

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高精度雙極性恒流電源

輸出: ±10A±80V 功率;800W

① 電源輸出電流可在正負(fù)額定*大電流之間連續(xù)變化

② 電流可以平滑過(guò)零點(diǎn),非開(kāi)關(guān)換向

③ 輸出電流、電壓四象限工作(適合感性負(fù)載)

④ 電流變化速率可設(shè)置范圍為 0.0007~0.3 F.S./s(F.S.為額定*大輸出電流)

※ 電流穩(wěn)定度高,紋波低

①電流穩(wěn)定度:優(yōu)于±25ppm/h(標(biāo)準(zhǔn)型);優(yōu) 于±5ppm/h(高穩(wěn)型)

② 電流準(zhǔn)確度:±(0.01%設(shè)定值+1mA)

③ 電流分辨率:20 bit,例 15A 電源,電流分辨率為 0.03mA

④ 源效應(yīng):≤ 2.0×10-5 F.S.(在供電電壓變化 10%時(shí),輸出電流變化量)

⑤ 負(fù)載效應(yīng):≤ 2.0×10-5 F.S.(在負(fù)載變化 10%時(shí),輸出電流變化量)

⑥ 電流紋波(RMS):小于 1mA

高阻型霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)的技術(shù)指標(biāo)

高精度高斯計(jì):

精度:讀數(shù)的±0.30% ;

分辨力:0.01mT 量程:0-3T ;

探頭厚度:1.0mm ;

長(zhǎng)度 100mm 數(shù)字;

Rs-232 接口數(shù)據(jù)讀取軟件配 GP3 型探頭

高斯計(jì)探頭支架及樣品架 全鋁非導(dǎo)磁支架 5-70mm 可調(diào)

樣品架夾具(按要求定制)

霍爾效應(yīng)系統(tǒng)軟件 可數(shù)字化調(diào)節(jié)磁場(chǎng)及電流,測(cè)試各類(lèi)材料參數(shù)

高溫恒溫器:(293K-470K)高低溫真空容器

TESK301恒溫儀:控溫(65k-600k)

真空泵 K25 真空泵

恒流源及測(cè)試表

恒流源量程:±50nA-±50mA;

分辨力 0.1nA 在量程范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào);

高精度電壓數(shù)采儀范圍 0. 1uV-30V

精度:0.01%

內(nèi)置測(cè)試矩陣轉(zhuǎn)換卡;

歐姆接觸套件 根據(jù)不同材料的歐姆接觸制作套件

系統(tǒng)組成:

   高阻霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)由電磁鐵、真空泵、高溫真空腔、高斯計(jì)、恒流源、電磁鐵電流源、控溫儀和計(jì)算機(jī)及軟件組成。其中,電磁鐵電流源給電磁鐵提供電流產(chǎn)生磁場(chǎng);高斯計(jì)測(cè)量電磁鐵產(chǎn)生的均勻磁場(chǎng)值;恒流源一方面給樣品提供樣品測(cè)試電流,用于霍爾效應(yīng)測(cè)試,一方面用來(lái)測(cè)量樣品反饋的霍爾電壓;被測(cè)樣品置于高溫真空腔中,由高溫膠固定,并作為四個(gè)測(cè)試點(diǎn);高溫真空腔引出 4 根導(dǎo)線,兩個(gè)連接控溫儀進(jìn)行溫度的測(cè)量及控制,另 1 根是高溫探頭引線連接到高斯計(jì)上,還有 1 根是霍爾樣片連接線連接到恒流源上;計(jì)算機(jī)連接高斯計(jì)、控溫儀、恒流源和電磁鐵電流源,通過(guò)軟件實(shí)現(xiàn)控制通過(guò)被測(cè)樣品的電流和磁場(chǎng)值,并獲取測(cè)得的電壓值。

可測(cè)試材料: ?

半導(dǎo)體材料:SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 和鐵氧體材料等

低阻抗材料:石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR 材料等

高阻抗材料:半絕緣的 GaAs, GaN, CdTe 等


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