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多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
可以測量從半導(dǎo)體等精密加工產(chǎn)品到眼鏡和汽車零件的各種樣品的膜厚。
緊湊的尺寸
輕松連接，僅 USB 連接
光學(xué)常數(shù)分析（折射率/消光系數(shù)）
| 光學(xué)鍍膜 | 硬涂層、防滴膜等 |
|---|---|
| 平板 | 有機(jī)膜等 |
| 模型 | F3-CS-UV | F3-CS | F3-CS-近紅外 |
|---|---|---|---|
| 測量波長范圍 | 190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm |
膜厚測量范圍 | 3nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 250μm |
| 準(zhǔn)確性* | ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | |
| 1納米 | 2納米 | 3納米 | |
*取決于樣品和測量條件
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