在半導(dǎo)體制造過程中，對超純水、水、低粘度藥液等的流量管理至關(guān)重要。為此，日本Tokyo Keiso公司推出了VF3000系列渦街流量傳感器，該產(chǎn)品以其結(jié)構(gòu)簡單、清潔度高而著稱，非常適合用于這些精密流體的流量控制
。
產(chǎn)品特點(diǎn)
VF3000流量傳感器采用PFA（全氟烷氧基樹脂）材質(zhì)，這種材料以其優(yōu)異的耐腐蝕性和純凈度而廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域
。傳感器的設(shè)計簡潔，易于清潔，有助于維持流體的超純度，避免污染。此外，VF3000還具有以下特點(diǎn)：
高清潔度：所有接觸流體的部分均采用PFA材質(zhì)，確保了流體的純凈度。
寬流量范圍：能夠測量從0.3升/分鐘到150升/分鐘的流量，適用于多種應(yīng)用場景。
高可靠性：采用卡爾曼渦旋檢測方法，提高了測量的準(zhǔn)確性和可靠性。
低壓降：設(shè)計優(yōu)化，減少了流體通過時的壓力損失。
維護(hù)簡便：由于結(jié)構(gòu)簡單，減少了維護(hù)需求
。
技術(shù)規(guī)格
VF3000系列流量傳感器的技術(shù)規(guī)格如下
：
測量流體：超純水、純水、水、低粘度化學(xué)品。
流體溫度：0 ~ 90°C。
流體壓力：0 ~ 0.5 兆帕。
流量范圍：根據(jù)型號不同，從0.3升/分鐘到150升/分鐘不等。
精度：±3% F.S.。
材料：身體和管道采用新PFA，接頭可采用PFA或NewPFA，渦旋探測器采用壓電元件（用新PFA模制）。
過程連接：PFA管端或各種接頭，連接管尺寸根據(jù)型號不同而有所差異。
輸出：提供電流輸出、脈沖輸出和帶電流/報警輸出的顯示模式。
電源：直流10.8 ~ 26.4V、0.5 ~ 2W。
防護(hù)等級：IP64（JIS C0920 防睫毛結(jié)構(gòu)）。
應(yīng)用場景
VF3000系列流量傳感器適用于半導(dǎo)體制造過程中的超純水、水、低粘度藥液等的流量管理。此外，它還適用于需要高清潔度的其他工業(yè)應(yīng)用，如制藥、食品加工等
。
結(jié)論
Tokyo Keiso的VF3000系列流量傳感器以其高清潔度、寬流量范圍和高可靠性，成為半導(dǎo)體制造過程中理想的流量控制解決方案。其簡潔的設(shè)計和優(yōu)異的性能使其在多種工業(yè)應(yīng)用中都能發(fā)揮重要作用。
