黃生
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日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
特征
支持W（鎢）/Ni（鎳）/Cr（鉻）/Ti（鈦）等成膜的DC濺射設(shè)備
使用磁控管陰極
內(nèi)置微機(jī)，高精度控制成膜過(guò)程
操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)2種模式
標(biāo)配自動(dòng)快門(mén)機(jī)構(gòu)
應(yīng)用/結(jié)果示例
W/Ni/Cr/Ti等的成膜
燃料電池基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
基本規(guī)格
| 陰極 | φ2寸磁控陰極 |
| 快門(mén)機(jī)制 | 自動(dòng)/手動(dòng)操作 |
| 氣體引入機(jī)制 | 針閥（自動(dòng)/手動(dòng)控制） |
| 真空泵 | 直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：100l/min（帶自動(dòng)漏氣） |
| 腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ160mm x D160mm（SUS制） |
| 樣品交換方式 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 機(jī)身： 360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm |
| 重量 | 身體：20kg RP：23kg |
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