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日本ballwave微量水分計Falcon Trace 系列
超微量水分計“Falcon Trace"是使用球型SAW傳感器定量測量工業(yè)氣體和天然氣中極微量水分子的設(shè)備。
響應(yīng)速度極快，可實時監(jiān)測含水量變化，可測量含水量和背景氣體成分分析兩項。氣體中的水濃度可以精確測量到 1 ppb (1/10 億) 的水平。
球SAW傳感器測量原理
① 表面聲波（IDT；Inter Digital Transducer）產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道線上循環(huán)，對所施加的敏感膜的微小變化作出
反應(yīng) ③ 反應(yīng)后表面聲波的信號變化 異形電極檢測
④ 通過多輪積分微小變化實現(xiàn)高靈敏度傳感。
案例研究/應(yīng)用
半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商
（主要是前端工藝）電池制造商
及其材料制造商的制造過程工業(yè)氣體制造商
產(chǎn)品陣容
響應(yīng)速度極快，可在數(shù)秒內(nèi)監(jiān)測含水量變化，有助于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品良率和質(zhì)量。
無需重新配置每種背景氣體，當(dāng)天然氣等成分發(fā)生波動時，可以同時檢測。另一個主要優(yōu)點是傳感器材料是水晶球，這使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。
FT-700WT
實現(xiàn)“超"微量水分測量的系列機型
測量范圍從露點 -110°C 到 -20°C
除露點測量外，背景氣體*成分（相當(dāng)于平均分子量）也以 % 水平檢測
* 背景氣體：要測量的氣體的含水量用這一裝置覆蓋從天然氣到高純度氣體
應(yīng)用示例
工業(yè)氣體制造過程/出貨時的質(zhì)量控制，半導(dǎo)體制造材料氣體純度控制
FT-400WT
可在中等范圍內(nèi)進(jìn)行實時測量的中等型號
在 1 秒內(nèi)測量從 -90°C 的露點開始的變化，非常適合實時控制系統(tǒng)測量
也可以更改為設(shè)備內(nèi)置類型*
* 請聯(lián)系我們
應(yīng)用示例
一般生產(chǎn)線的質(zhì)量控制，電池制造過程的水分含量監(jiān)測
FT-300WT
在保持高速響應(yīng)性的同時強調(diào)便攜性的小型通用型號
1秒內(nèi)測量-70°C露點的變化，支持實時測量系統(tǒng)
輕巧緊湊，重量僅為 2 公斤，便于攜帶到目標(biāo)區(qū)域
即使在因電池驅(qū)動而沒有商用電源的地方也可以使用
應(yīng)用示例
干燥箱、空間水分分布、一般氣體
日本ballwave微量水分計Falcon Trace 系列
規(guī)格詳情
與其他公司產(chǎn)品的比較
環(huán)保在線