安捷倫Agilent HLD MD30 干式檢漏儀采用專用于檢測氦氣的質(zhì)譜儀，以氦氣作為示蹤氣體來定位和/或測量封閉設(shè)備或系統(tǒng)中的微小泄漏。移動式 HLD MD30 是一款非常耐用的儀器，具有簡便易用的觸摸屏界面和菜單結(jié)構(gòu)，便于用戶快速利用其強大的檢漏功能。內(nèi)置的應(yīng)用設(shè)置可縮短設(shè)置參數(shù)的時間，可保存設(shè)置以確保重復(fù)性。集成式滾輪，便于移動。
包括一個無油 Agilent TriScroll 620 渦旋式干泵（抽氣速率：30 m3/h），用于極快速地排空測試部件和系統(tǒng)，以及在測試循環(huán)之間快速清除本底氦氣。
產(chǎn)品參數(shù)
初級泵 | Dry Scroll Pump |
可選擇的語言 | 中文 英語 法語 德語 日語 韓語 俄語 西班牙語 |
應(yīng)用設(shè)置向?qū)?/span> | 吸槍 氦氣噴槍 自動排序器（可編程測試循環(huán)） 高靈敏度 分流流速 PPM 吸槍 |
形狀因數(shù) | 移動式推車已安裝 |
抽速 | 30 m3/h 18 cfm |
測試接口壓力 | 13 mbar (10 Torr, 1333 Pa) 200 mbar (150 Torr, 20000 Pa) in Gross Leak Mode |
校準(zhǔn) | 自動內(nèi)部和外部 能夠在測試時檢查校準(zhǔn) |
靈敏度 | 5 x 10-12 mbar•L/s 5 x 10-12 atm•cc/s 5 x 10-13 Pa•m3/s |
用戶界面 | 21 cm (8.4 inch) touch screen |
通訊接口 | 模擬輸出和串行通信為標(biāo) 可選獨立式 I/O 接口 準(zhǔn)配置 |
附件和選件 | 無線遙控器 (100 m) 獨立式 I/O 接口 惡劣環(huán)境專用吸槍 自動測試裝置 測試盒裝置連接電纜 |
產(chǎn)品特點
·六個不同的應(yīng)用設(shè)置向?qū)в兄谀鷮x器正確地配置以獲得理想性能，確保恰當(dāng)?shù)卦O(shè)置參數(shù)以便完整、有效地進行測試。
·工業(yè)觸摸屏界面更大、更耐用且響應(yīng)更靈敏，能夠 180° 旋轉(zhuǎn)，非常便于查看。
·簡明、直觀的用戶界面，提供常用功能的快速訪問以及扁平的菜單結(jié)構(gòu)，方便您快速查找所需設(shè)置。
·開機向?qū)軌蚝喕油娫春髮x器的設(shè)置。
·增強的圖表功能，包括便于仔細檢查數(shù)據(jù)的放大模式、彩色標(biāo)記的設(shè)定值以及記錄泄漏速率和壓力的時間曲線。
·更大的工作臺面為需要測試的部件和工具等提供了充足的空間。
·經(jīng)改善的關(guān)機程序能夠使質(zhì)譜室在關(guān)機后保持真空狀態(tài)并保護渦輪分子泵。
·更強的機動性有助于更輕松到達半導(dǎo)體生產(chǎn)線或其他生產(chǎn)環(huán)境中狹窄的服務(wù)區(qū)域和范圍。
·干式真空泵可避免泵油污染被檢部件和系統(tǒng)。
·發(fā)貨時附帶電源線。
