電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，簡稱ICP光譜儀，因?yàn)榫哂懈哽`敏度，高精密度，低基體效應(yīng)和具有一起多元素剖析能力等一系列特色，自產(chǎn)品呈現(xiàn)以來，很快在各剖析范疇得到廣泛應(yīng)用，變成資料、環(huán)境、地礦、冶金、食物、化工、生化、產(chǎn)品檢驗(yàn)及科研范疇通用的無機(jī)元素剖析東西。
ICP光譜儀是以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強(qiáng)度的裝置。它由一個(gè)入射狹縫，一個(gè)色散系統(tǒng)，一個(gè)成像系統(tǒng)和一個(gè)或多個(gè)出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區(qū)域，并在選定的波長上進(jìn)行強(qiáng)度測定。
構(gòu)成：
一臺(tái)典型的ICP光譜儀主要由一個(gè)光學(xué)平臺(tái)和一個(gè)檢測系統(tǒng)組成。包括以下幾個(gè)主要部分：
1.入射狹縫：在入射光的照射下形成成像系統(tǒng)的物點(diǎn)。
2.準(zhǔn)直元件：使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄?。該?zhǔn)直元件可以是一獨(dú)立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上。
3.色散元件：通常采用光柵，使光信號(hào)在空間上按波長分散成為多條光束。
4.聚焦元件：聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點(diǎn)對(duì)應(yīng)于一特定波長。
5.探測器陣列：放置于焦平面，用于測量各波長像點(diǎn)的光強(qiáng)度。該探測器陣列可以是CCD陣列或其它種類的光探測器陣列。
ICP光譜儀應(yīng)具有以下功能：
1.分光：把被研究光按一定波長或波數(shù)的發(fā)布規(guī)律在一定空間內(nèi)分開。
2.感光：將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成易于測量的電信號(hào)，相應(yīng)測量出各波長光的強(qiáng)度，得到光能量按波長的發(fā)布規(guī)律。
3.繪譜線圖：把分開的光波及其強(qiáng)度按波長或波數(shù)的發(fā)布規(guī)律記錄保存或顯示對(duì)應(yīng)光譜圖。
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